[实用新型]一种硅料泄漏承接装置有效
申请号: | 201820782437.9 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN208667901U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 施文周 | 申请(专利权)人: | 江苏利奥新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 陈丽君 |
地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 硅料 泄漏 承接装置 一端设置 固定口 连接杆 弹簧 炉腔 水槽 推杆 进水口 连接勾 本实用新型 滑轮移动 内部安装 内部设置 推杆连接 重复利用 连接口 连接轴 热电偶 卡块 | ||
本实用新型公开了一种硅料泄漏承接装置,包括坩埚、连接轴、第一连接勾推杆和固定口,所述坩埚的一侧设置有进水口,且进水口的另一端设置有水槽,所述水槽设置在坩埚的内部,所述调节轴的另一端设置有第二连接勾,所述推杆连接在连接口的内部,且推杆的左侧设置有连接杆,所述连接杆的内部设置有第二弹簧,且第二弹簧的另一端设置有卡块,所述连接杆之间设置有第三弹簧,所述固定口设置在坩埚的内部,且固定口的内部安装有TC2热电偶。该硅料泄漏承接装置,设置有坩埚,根据不同的型号的炉腔,将坩埚通过滑轮移动到炉腔下方,当炉腔发生泄漏时,泄漏出来的硅料会流到坩埚的内部,避免与地面直接接触,使硅料可以重复利用。
技术领域
本实用新型涉及硅料生产相关设备技术领域,具体为一种硅料泄漏承接装置。
背景技术
近年来,铸锭工艺主要朝着大尺寸硅锭方向发展,大型铸锭炉多采用中频加热,以适应大形硅锭及工业化规模,与此同时,硅锭质量也得到明显的改进,经过工艺优化和坩埚材质改进,使缺陷及杂质、氧、碳含量减少,在晶体生长中固液界面的形状会影响晶粒结构的均匀性与材料的电性能,一般而言,水平形状的固液界面较好。
目前市场上的硅料泄漏承接装置虽然种类和数量非常多,但是有这样的缺点,坩埚固定下落时,容易导致装置直接损坏,且硅料泄漏后直接与地面进行接触,使硅料无法进行重复利用,同时坩埚位置处于高温状态下,使用寿命短,因此要对现在的硅料泄漏承接装置进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅料泄漏承接装置,以解决上述背景技术提出的目前市场上的坩埚固定下落时,容易导致装置直接损坏,且硅料泄漏后直接与地面进行接触,使硅料无法进行重复利用,同时坩埚位置处于高温状态下,使用寿命短的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅料泄漏承接装置,包括坩埚、连接轴、第一连接勾推杆和固定口,所述坩埚的一侧设置有进水口,且进水口的另一端设置有水槽,所述水槽设置在坩埚的内部,所述连接轴设置在进水口的下方,且连接轴两侧连接有支撑杆,所述支撑杆上设置有连接口,且支撑杆的左侧设置有通孔,所述支撑杆的下方设置有滑轮,所述第一连接勾的一端设置在通孔的内部,且第一连接勾的另一端连接在调节轴的内部,所述调节轴的另一端设置有第二连接勾,且第二连接勾的一端固定在卡环的内部,所述卡环固定在坩埚上,且坩埚的下方设置有第一弹簧,所述第一弹簧的下方连接有缓冲板,所述推杆连接在连接口的内部,且推杆的左侧设置有连接杆,所述连接杆的内部设置有第二弹簧,且第二弹簧的另一端设置有卡块,所述连接杆之间设置有第三弹簧,所述固定口设置在坩埚的内部,且固定口的内部安装有TC2热电偶。
优选的,所述水槽均匀环绕在坩埚的内部,且坩埚上设置有2个连接轴,并且连接轴关于坩埚中心垂线构成对称结构。
优选的,所述支撑杆和连接轴之间构成旋转结构,且支撑杆和连接口之间为一体结构,并且连接口和推杆为螺纹连接。
优选的,所述通孔和第一连接勾之间为可拆卸结构,且第一连接勾和调节轴之间为螺纹连接,并且第一连接勾和调节轴之间构成伸缩结构。
优选的,所述第一弹簧均匀分布在坩埚的下方,且第一弹簧和缓冲板之间构成伸缩结构,并且缓冲板的底层高于支撑杆垂直状态下滑轮的高度。
优选的,所述推杆和连接杆之间构成旋转结构,且连接杆通过第二弹簧和卡块之间构成滑动结构,并且卡块和推杆之间构成卡合结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该硅料泄漏承接装置:
1.设置有进水口和水槽,将装置放置到炉腔底部下,当炉腔工作时,会产生高温,通过进水口,往坩埚的内部注射水,使水在水槽内部进行环绕,进而使坩埚的温度降低,提高坩埚的使用寿命;
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