[实用新型]一种亚微米级精密柔性微动系统

权利要求书

1.一种亚微米级精密柔性微动系统，其特征在于，包括：

机构本体，所述机构本体具有微动输入机构以及微动输出机构，所述微动输入机构用于输入运动Δu，利用柔性铰链传动及导向原理，所述微动输出机构用于输出位移Δv；

驱动器，所述驱动器设置于所述机构本体，且用于为所述微动输入机构提供运动位移，所述微动输入机构在所述驱动器的驱动作用下用于输入运动Δu；

多个直圆型柔性铰链组成的柔性铰链机构，多个所述直圆型柔性铰链对称设置于所述机构本体，且多个直圆型柔性铰链包括第一组柔性铰链与第二组柔性铰链，所述第一组柔性铰链用于保证驱动器在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保所述机构本体运动的精密性及平稳性；所述第二组柔性铰链用于将所述微动输入机构输入的运动Δu进行精密传动，使得所述微动输出机构用于输出位移Δv；

多个所述直圆型柔性铰链的数量为二十个，且所述第一组柔性铰链具有十六个所述直圆型柔性铰链，所述第二组柔性铰链具有四个所述直圆型柔性铰链；

其中，所述第一组柔性铰链包括对称分布于所述驱动器两侧的第一柔性铰链、第二柔性铰链、第三柔性铰链、第四柔性铰链、第五柔性铰链、第六柔性铰链、第七柔性铰链、第八柔性铰链、第九柔性铰链、第十柔性铰链、第十一柔性铰链、第十二柔性铰链、第十三柔性铰链、第十四柔性铰链、第十五柔性铰链以及第十六柔性铰链；第二组柔性铰链包括第十七柔性铰链、第十八柔性铰链、第十九柔性铰链以及第二十柔性铰链；

并且，所述第一柔性铰链与第二柔性铰链相对设置；所述第三柔性铰链与所述第四柔性铰链相对设置，且位于所述第一柔性铰链与所述第二柔性铰链的下方，所述第九柔性铰链与所述第十柔性铰链相对设置，且位于所述第三柔性铰链与所述第四柔性铰链的下方，所述第十一柔性铰链与所述第十二柔性铰链相对设置，且位于所述第九柔性铰链与所述第十柔性铰链的下方，所述第五柔性铰链与所述第六柔性铰链相对设置，且位于所述第一柔性铰链与所述第二柔性铰链的对侧，所述第七柔性铰链与所述第八柔性铰链相对设置，且位于所述第五柔性铰链与所述第六柔性铰链的下方，位于所述第三柔性铰链以及所述第四柔性铰链的对侧，所述第十三柔性铰链与所述第十四柔性铰链位于所述第七柔性铰链与所述第八柔性铰链的下方，且位于所述第九柔性铰链以及所述第十柔性铰链的对侧，所述第十五柔性铰链与所述第十六柔性铰链相对设置，且位于所述第十三柔性铰链与所述第十四柔性铰链的下方，位于所述第九柔性铰链与所述第十柔性铰链的对侧，所述第十七柔性铰链与所述第十八柔性铰链相对设置且位于上方，所述第十九柔性铰链与所述第二十柔性铰链相对设置，且位于所述第十七柔性铰链与所述第十八柔性铰链的右侧。

2.根据权利要求1所述的亚微米级精密柔性微动系统，其特征在于：

所述机构本体具有对称设置的第一本体与第二本体，且所述第一本体上设置有十个所述直圆型柔性铰链，所述第二本体上设置有十个所述直圆型柔性铰链，对称分布的直圆型柔性铰链用于组成双轴柔性铰链，所述双轴柔性铰链用于保证驱动器不承受非运动的方向的力。

3.根据权利要求2所述的亚微米级精密柔性微动系统，其特征在于：

所述第一组柔性铰链的十六个所述直圆型柔性铰链中，其中八个设置于所述第一本体，另外八个设置于所述第二本体；所述第二组柔性铰链的四个所述直圆型柔性铰链中，其中两个设置于所述第一本体，另外两个设置于所述第二本体。

4.根据权利要求3所述的亚微米级精密柔性微动系统，其特征在于：

所述第一本体与所述第二本体上均间隔设置有多个固定组件，且所述第一本体与所述第二本体上的多个固定组件对称设置。

5.根据权利要求4所述的亚微米级精密柔性微动系统，其特征在于：

所述固定组件为沉头螺钉，所述固定组件的个数为九个，其中四个所述沉头螺钉设置于所述第一本体，四个所述沉头螺钉对称设置于所述第二本体，剩下一个设置于所述第一本体与所述第二本体的对称轴上。

6.根据权利要求5所述的亚微米级精密柔性微动系统，其特征在于：

所述沉头螺钉为M4沉头螺钉。