[实用新型]显影喷嘴清洗槽及显影液喷涂系统

权利要求书

1.一种显影喷嘴清洗槽，用于对显影喷嘴进行清洗，所述显影喷嘴包括显影液容纳主体及喷嘴，所述喷嘴位于所述显影液容纳主体下方，且与所述显影液容纳主体内部相连通，其特征在于，所述显影喷嘴清洗槽包括：

清洗槽主体；

凹槽，位于所述清洗槽主体内；

密封圈，位于所述清洗槽主体的顶部，并位于所述凹槽外围，且所述密封圈环绕所述凹槽四周；所述显影喷嘴置于所述显影喷嘴清洗槽上时，所述显影液容纳主体的底部压紧所述密封圈，以将所述显影液容纳主体与所述清洗槽主体之间的所述凹槽形成为密闭空腔，所述喷嘴收容于所述密闭空腔内；

抽气管路，一端经由所述清洗槽主体的侧壁插入所述凹槽内，另一端位于所述清洗槽主体外侧；

用于将所述密闭空腔抽成微真空的真空泵，与所述抽气管路位于所述清洗槽主体外侧的一端相连接。

2.根据权利要求1所述的显影喷嘴清洗槽，其特征在于，所述密封圈包括O型密封圈。

3.根据权利要求1所述的显影喷嘴清洗槽，其特征在于，所述显影喷嘴于所述显影喷嘴清洗槽内进行清洗时，所述密闭空腔内的真空度介于10^-1～10^-2Pa之间。

4.根据权利要求1所述的显影喷嘴清洗槽，其特征在于，所述显影喷嘴清洗槽还包括真空度侦测传感器，设置于所述清洗槽主体上，以侦测所述密闭空腔内的真空度。

5.一种显影液喷涂系统，其特征在于，所述显影液喷涂系统包括：

用于放置待处理晶圆的承载台；

显影喷嘴，包括显影液容纳主体及喷嘴，所述喷嘴位于所述显影液容纳主体下方，且与所述显影液容纳主体内部相连通；

供液管路，一端与显影液源相连接，另一端与所述显影液容纳主体的内部相连通；

机械阀，位于所述供液管路上；

显影喷嘴清洗槽，包括：

清洗槽主体；

凹槽，位于所述清洗槽主体内；

密封圈，位于所述清洗槽主体的顶部，并位于所述凹槽外围，且所述密封圈环绕所述凹槽四周；所述显影喷嘴置于所述显影喷嘴清洗槽上时，所述显影液容纳主体的底部压紧所述密封圈，以将所述显影液容纳主体与所述清洗槽主体之间的所述凹槽形成为密闭空腔，所述喷嘴收容于所述密闭空腔内；

抽气管路，一端经由所述清洗槽主体的侧壁插入所述凹槽内，另一端位于所述清洗槽主体外侧；

用于将所述密闭空腔抽成微真空的真空泵，与所述抽气管路位于所述清洗槽主体外侧的一端相连接。

6.根据权利要求5所述的显影液喷涂系统，其特征在于，所述密封圈包括O型密封圈。

7.根据权利要求5所述的显影液喷涂系统，其特征在于，所述显影喷嘴于所述显影喷嘴清洗槽内进行清洗时，所述密闭空腔内的真空度介于10^-1～10^-2Pa之间。

8.根据权利要求5所述的显影液喷涂系统，其特征在于，所述显影喷嘴清洗槽还包括真空度侦测传感器，设置于所述清洗槽主体上，以侦测所述密闭空腔内的真空度。

9.根据权利要求5所述的显影液喷涂系统，其特征在于，所述喷嘴的长度方向与所述显影液容纳主体的长度方向一致，且所述喷嘴内设有若干个与所述显影液容纳主体的内部相连通的喷口，所述喷口沿所述喷嘴的长度方向排布。

10.根据权利要求5所述的显影液喷涂系统，其特征在于，所述显影液喷涂系统还包括：

排液管路，一端与所述显影液容纳主体的内部相连通；

用于对所述显影液容纳主体内的显影液进行温度控制的温控管路，包括进液端及出液端，所述温控管路位于所述显影液容纳主体内，且所述进液端及所述出液端均延伸至所述显影液容纳主体外；

用于驱动所述承载台旋转的驱动装置，与所述承载台相连接。