[实用新型]一种高产能管式炉装置

说明书

本实用新型公开一种高产能管式炉装置，包括主控模块、电气控制模块、炉本体、排热模块、若干炉管、若干加热装置；每一炉管对应一加热装置；所述主控模块用于控制电气控制模块、排热模块、加热装置工作；所述电气控制模块安装于炉本体底部，热排模块安装于炉本体顶部；所述炉本体包括至少两列炉腔，每列炉腔包括若干个炉腔，每一炉腔内置一炉管。本实用新型可拓展扩散炉炉管数量，炉膛尺寸可根据产能要求定制，较大的炉管直径气流更均匀，特别是对于水平插片式扩散炉能提高产能；同时设置的预防漏水机构可有效地将炉管冷却水导流至地板，防止漏水流到电气控制部分引发事故，确保安全。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种高产能管式炉装置。

背景技术

在所有的太阳能电池中，硅太阳能电池是商业推广范围最大的太阳能电池。光电转换的太阳能电池可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。P型硅片需要扩散磷元素获得PN结，N型硅片需要扩散硼元素获得PN结。电池片的生产过程中，部分工艺需要在硅片上扩散或者沉积一些元素，形成某种薄层结构。如硼扩散工艺、磷扩散工艺、低压硼扩散工艺、低压磷扩散工艺等。

扩散工艺是制备太阳电池最关键的工序之一。扩散结果的均匀性会直接影响电池片电性能参数的正态分布。而扩散炉的需求主要有两个，一是较好的扩散控制，使得扩散结果均匀稳定；二是设备产能高，空间利用率高。

现有的扩散炉高度很高，炉体框架结构不稳定，大部分设备都是在炉管侧面安装一些机械部件，目的一是为了炉体的稳定，二是可安装一些进出舟的机械机构，从而整个炉体宽度增大，增加整个炉体的稳定性。同时由于炉体结构太高，也影响了人的观察和手动操作，若要增大炉管直径，势必又要增加设备高度，对炉体结构的稳定性要求就越大；若要缩小炉管直径，使得管内气流更不稳定，产品稳定性下降。

此外，现有的管式炉装置没有预防漏水保护，当炉管的冷却水漏至电气控制部分时，存在极大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高产能管式炉装置，可拓展扩散炉炉管数量，炉膛尺寸可根据产能要求定制，较大的炉管直径气流更均匀，特别是对于水平插片式扩散炉能提高产能；同时设置的预防漏水机构可有效地将炉管冷却水导流至地板，防止漏水流到电气控制部分引发事故，确保安全。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种高产能管式炉装置，包括主控模块、电气控制模块、炉本体、排热模块、若干炉管、若干加热装置；每一炉管对应一加热装置；所述主控模块用于控制电气控制模块、排热模块、加热装置工作；所述电气控制模块安装于炉本体底部，热排模块安装于炉本体顶部；所述炉本体包括至少两列炉腔，每列炉腔包括若干个炉腔，每一炉腔内置一炉管。

较佳地，所述管式炉装置还包括预防漏水机构；所述预防漏水机构包括一导流板、两导流管；所述导流板的横截面呈V型构造，导流板的中间开设一通孔，导流板经该通孔卡接在炉本体的底部外侧；所述导流板两端的V型尖端处各开设一导流孔，每一导流孔底部对应安装一导流管。

较佳地，所述导流板的四周外侧边缘设有连续的第一凸起部，导流板通孔边缘设有连续的第二凸起部。

较佳地，所述加热装置包括加热元件、内置热电偶、外置热电偶；所述内置热电偶、外置热电偶分别将炉管的内、外测温信号回传至主控模块，从而控制加热元件工作。

较佳地，所述炉腔设置为两列。

较佳地，所述每列炉腔的炉腔数设置为3～5个。

较佳地，所述排热模块包括排热扇。

较佳地，所述炉管采用石英炉管。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：