[实用新型]一种油扩散泵冷阱装置

说明书

本实用新型公开了一种油扩散泵冷阱装置，包括冷阱外环，所述冷阱外环内部固接有若干隔离栅，所述隔离栅为折形；所述冷阱外环内部还固接有至少两个S形冷却水管，所述S形冷却水管穿过隔离栅并连接到冷阱外环上，所述冷阱外环上设有管接头，所述管接头贯穿冷阱外环，其一端连接S形冷却水管，其另一端连接冷却水的进水管或出水管。使用本结构的油扩散泵冷阱装置，其结构简单，方便使用和布置，同时有效解决真空室返油问题，从而避免高温油蒸汽污染内部待生产件。冷阱外环以及其上管接头的设置，更是有效保护进出的冷却水能够长久工作。本实用新型结构简单、使用方便，能够有效配合油扩散泵工作。

技术领域

本实用新型涉及油扩散泵领域，尤其涉及一种油扩散泵的冷阱装置。

背景技术

油扩散泵的抽速大、造价低，性价比高。因此很多真空设备会选用油扩散泵作为真空系统的主泵。但是在工作过程中油扩散泵的油蒸汽分子会逆扩散至真空腔体，污染真空腔体和产品。为了解决上述问题，通常的做法是在扩散泵的顶部增加冷阱。冷阱是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的阱，是置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集蒸汽的装置。

传统的油扩散泵上的冷阱装置，是靠铜管冷却挡板，再靠挡板阻挡冷却油蒸汽分子。这种结构具有很大的缺陷，铜管和挡板之间是线接触，接触面积很小，造成挡板上温度不均匀，低温冷却油蒸汽分子的效果差。

目前也有对油扩散泵的冷阱进行改进的，比如公开号为CN202654748U的一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁内的挡板和铜管，所述铜管和冷媒接头相连，其中，所述铜管环形排布，所述挡板包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端；所述挡板和铜管沿冷阱中心轴左右对称分布，位于冷阱中心轴位置的直边段环形挡板上设有挡油帽。该技术方案通过设置锥状环形挡板和直边段环形挡板增加铜管和挡板的接触面积，提高冷媒的冷却效果，减少返流的几率，且对流导的影响不大。上述改进其冷却效果还是较差。

又比如公开号为CN204709851U的用于油扩散泵的低温冷阱，：包括底座、冷凝片和进、出水管，所述冷凝片的内部设置有冷媒流道，所述冷媒流道的一端与所述进水管连通，另一端与所述出水管连通，所述冷凝片通过所述进、出水管固定支撑在所述底座上。大大提升挡板的冷却效果，从而提升油蒸汽分子的阻挡冷凝效果，减小扩散泵的返油率。上述改进，其结构非常复杂，加工使用不便，同时水管接口易堵塞、折断，高温油蒸汽易进入真空室形成返油污染真空室及内部待生产件。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种结构简单、加工方便、冷却效果好的油扩散泵冷阱装置。

本实用新型采用的技术方案是：一种油扩散泵冷阱装置，包括冷阱外环，所述冷阱外环内部固接有若干隔离栅，所述隔离栅为折形；所述冷阱外环内部还固接有至少两个S形冷却水管，所述S形冷却水管穿过隔离栅并连接到冷阱外环上，所述冷阱外环上设有管接头，所述管接头贯穿冷阱外环，其一端连接S形冷却水管，其另一端连接冷却水的进出水管。

作为本实用新型的进一步改进，所述S形冷却水管为铜管。

本实用新型采用的有益效果是：使用本结构的油扩散泵冷阱装置，其结构简单，方便使用和布置，同时有效解决真空室返油问题，从而避免高温油蒸汽污染内部待生产件。冷阱外环以及其上管接头的设置，更是有效保护进出的冷却水能够长久工作。本实用新型结构简单、使用方便，能够有效配合油扩散泵工作。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

图中所示：1 冷阱外环，2 S形冷却水管，3 隔离栅，4 管接头，5 进出水管。

具体实施方式

下面结合图1，对本实用新型做进一步的说明。