[实用新型]低压扩散风冷型炉门

说明书

本实用新型提供了一种低压扩散风冷型炉门，安装在低压扩散炉炉体上，炉体开口处设置有炉门夹持工具，包括由炉门夹持工具夹持的金属炉门和球形石英炉门，金属炉门表面具有散热孔，金属炉门外侧连接有向金属炉门散热孔内吹风的风机；球形石英炉门包括设置一体结构的柱形部、球形部和扣件部，柱形部与球形部内部中空具有填塞腔，柱形部底面开有填塞孔，填塞腔内填塞有石英纤维；扣件部与炉体之间密封连接有密封圈。本实用新型有效避免了冷却水泄露造成的安全隐患，可节约生产成本，同时有效减轻炉门重量，降低对炉门气缸等传动机构的负担，延长相应附件的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池制造低压扩散工艺技术领域，尤其涉及一种低压扩散风冷型炉门。

背景技术

低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式,真空系统提供低压力氛围，从而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高扩散均匀性、稳定性和成膜致密性；通过低压扩散工艺，可以获得均匀的p-n结构，更易实现浅结高方阻扩散工艺，提升电池转换效率，提高单管产能，降低制造成本。

低压扩散对炉门提出了较高的要求，要求炉门不仅能实现在850℃进行隔热，还需要能达到较好的密封效果。而现有的氟胶密封圈最高耐温在350℃左右，而设备工艺温度在850℃左右，因此对低压扩散的炉门设计提出了较高的要求。现有的低压扩散炉门大多采用金属水冷外门+石英内门的方式，一方面保证隔热效果，另一方面在高温时通过水冷方式，保持氟胶密封圈处的温度不超过350℃，用以保证炉门能达到密封要求。现有工艺中，将冷气水管路安装于炉门上，工作时冷气水管路需要反复折叠，容易出现漏水，导致石英炉门及石英炉管的损坏。如果工艺时出现损坏，还会导致三氯氧磷泄露，存在较大的安全隐患。而且在炉门上单独配接冷却水，要求较高，增加了厂务成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本实用新型提供一种有效避免了冷却水泄露造成的安全隐患节约生产成本，同时可有效减轻炉门重量，降低对炉门气缸等传动机构的负担，延长相应附件的使用寿命的低压扩散风冷型炉门。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种低压扩散风冷型炉门，安装在低压扩散炉炉体上，炉体开口处设置有炉门夹持工具，包括由炉门夹持工具夹持的金属炉门和球形石英炉门，所述金属炉门表面具有散热孔，所述的金属炉门外侧连接有向金属炉门散热孔内吹风的风机；所述球形石英炉门包括设置一体结构的柱形部、球形部和扣件部，所述柱形部对应设置在炉体开口内，所述球形部对应设置在炉门夹持工具与金属炉门内且外凸向金属炉门内侧表面，所述的扣件部固定在球形部周向外檐并与炉门夹持工具啮合；所述的柱形部与球形部内部中空具有填塞腔，所述柱形部底面开有填塞孔，所述填塞腔内填塞有石英纤维；所述的扣件部与炉体之间密封连接有密封圈。

球形石英炉门具有球形部且球形部的厚度小于球形半径，球形部与柱形部和扣件部组合而成球形石英炉门形成了中间厚、边缘薄的结构，填塞腔内也是中间厚边缘薄的。中间厚的部分可起到良好的隔热效果，边缘较薄处则有利于边缘位置的散热，且另外设置的风机可对金属炉门的散热孔进行吹风，可使处于边缘位置处的密封圈温度维持在安全温度范围内(300℃以内)，使炉门与炉体之间出于良好的密封状态。

进一步的，金属炉门中心处开有圆形安装孔，所述散热孔包括至少五个以圆形安装孔为中心呈环形阵列分布的周向散热孔。

进一步的，填塞孔为圆形且直径为15mm至25mm。

进一步的，密封圈为氟胶密封圈。氟胶化学稳定性好且耐高温性能好，为扣件部与炉体之间提供了良好的隔热密封作用。

本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的低压扩散风冷型炉门，通过球形石英炉门、金属炉门和风机的配合设计，避免了在高温区使用冷却水，无需冷却水系统，既节省了生产成本，无需增加厂务成本，且有效避免了冷却水泄露造成的安全隐患，同时球形石英炉门内部中空并填塞有石英纤维，可有效减轻炉门重量，降低对炉门气缸等传动机构的负担，延长了相应附件的使用寿命。