[实用新型]一种湿制程晶体硅双层叠合干法分离装置

说明书

本实用新型涉及一种湿制程晶体硅双层叠合干法分离装置，它包括容置器，所述容置器具有承托面和开口；晶体硅花篮，所述晶体硅花篮置放于所述容置器中的所述承托面上，所述晶体硅花篮的长度方向上并列设置有多个用于插置晶体硅的插置槽，每个所述插置槽中可同时插入两片相叠的晶体硅；电加热组件，所述电加热组件安装在所述容置器中，所述电加热组件包括布置在所述容置器内容空间中的至少一个电加热件。电加热件能在被加热物体内部直接生热，热效率高、升温速度快，并可根据加热的工艺要求，实现整体均匀加热。电加热件可以较快地使双层叠合的晶体硅之间的水分完全干燥从而使得晶体硅间相互作用力（表面张力、摩擦力等）降低，使晶体硅分离。

技术领域

本实用新型涉及一种晶体硅分离装置，特别涉及一种湿制程晶体硅双层叠合干法分离装置。

背景技术

在传统的湿制程晶体硅制造中，比如太阳能电池中晶硅片的制绒工艺，会形成片状的晶体硅双层叠合的情况，双层叠合的晶体硅之间由于存有液体使得两者牢牢地吸附在一起，这时需要采用措施将它们分离。比如申请号为2015104863885的中国专利公开了一种这样的工艺“晶体硅太阳电池的单面纳米绒面制备方法”，其公开到在单面制绒后如何分开双层叠合的晶体硅，具体地为用去离子水（纯水）冲洗晶体硅然后甩干，使得叠在一起的两块晶体硅分离，进而得到单面纳米绒面的晶体硅。但是这个方法中，并不能对晶体硅完全甩干，而且在甩干时容易损坏晶体硅从而导致碎片率上升。

若采用传统烘干方式即采用热风烘干，难以完全烘干晶体硅，这时由于在两片晶体硅间仍然残留少许液体使得晶体硅更加难以分离而且碎片率急剧提升；若采用不烘干晶体硅，而采用强制分离，晶体硅碎片远超预期，从而无法适用工业量产。

因此，需要设计一种分离装置，能够更好地使湿制程中由于液体存在于两者之间而吸附在一起的双层叠合的晶体硅能够容易分离。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种湿制程晶体硅双层叠合干法分离装置，解决了双层晶体硅吸附叠合在一起时如何更好地分离的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种湿制程晶体硅双层叠合干法分离装置，它包括：

容置器，所述容置器具有承托面和开口；

晶体硅花篮，所述晶体硅花篮置放于所述容置器中的所述承托面上，所述晶体硅花篮的长度方向上并列设置有多个用于插置晶体硅的插置槽，每个所述插置槽中可同时插入两片相叠的晶体硅；

电加热组件，所述电加热组件安装在所述容置器中，所述电加热组件包括布置在所述容置器内容空间中的至少一个电加热件。

优化地，所述电加热件沿所述晶体硅花篮长度方向布置。

优化地，所述电加热件布置在所述晶体硅花篮长度方向的两侧。

优化地，所述电加热件为红外线加热器。

优化地，所述电加热件为微波加热器。

优化地，所述容置器内还设置有温度传感器，与所述温度传感器相连接有控制单元，所述控制单元的控制端与所述电加热组件相连接控制所述电加热组件的开启与关闭。

优化地，所述容置器包括槽状本体和盖子。

优化地，所述容置器包括隧道样本体和设置在所述本体端部的侧门。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：