[实用新型]一种用于阴极磁棒的变形调整装置

说明书

本实用新型涉及玻璃生产技术领域，具体涉及一种用于阴极磁棒的变形调整装置，包括基座、设于所述基座上的导轨、架设在所述基座和所述导轨上方的支撑架、安装在所述支撑架上且位于所述导轨正上方的液压千斤顶，待矫正的阴极磁棒沿所述导轨的长度延伸方向滑动的设置在所述导轨上，所述液压千斤顶的压块正对所述阴极磁棒，所述压块上设有压力传感器，位于所述压块正下方的所述导轨上设有距离传感器，所述压力传感器和所述距离传感器与数据采集装置电连接，通过采用本实用新型的调整装置，可以方便的对变形的阴极磁棒进行矫正，从而提高阴极磁棒的使用次数，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及玻璃生产技术领域，具体涉及一种用于阴极磁棒的变形调整装置。

背景技术

玻璃生产中的镀膜线旋转阴极磁棒，磁铁密封在阴极磁棒内部，通过采用水冷方式带走溅射过程中产生的热量，以达到冷却的目的。阴极磁棒用于真空磁控溅射过程中，提供溅射所需的磁场。因更换靶材过程中，需要拆卸靶材及磁缸，同时磁铁经过一段时间使用，由于环境及温升的影响，导致磁铁退磁等，需拆卸阴极磁棒更换磁铁，并清洁保养阴极磁棒。

阴极磁棒变形的主要部位为中间位置，径向跳动大。现有技术中对于变形的阴极磁棒无法矫正，当其变形量过大时需要更换新的阴极磁棒。

发明内容

本实用新型提供一种用于阴极磁棒的变形调整装置，其可以方便的对变形的阴极磁棒进行矫正，从而提高阴极磁棒的使用次数，降低生产成本。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于阴极磁棒的变形调整装置，包括基座、设于所述基座上的导轨、架设在所述基座和所述导轨上方的支撑架、安装在所述支撑架上且位于所述导轨正上方的液压千斤顶，待矫正的阴极磁棒沿所述导轨的长度延伸方向滑动的设置在所述导轨上，所述液压千斤顶的压块正对所述阴极磁棒，所述压块上设有压力传感器，位于所述压块正下方的所述导轨上设有距离传感器，所述压力传感器和所述距离传感器与数据采集装置电连接。

进一步的，所述基座为工字钢，所述工字钢包括相互平行的第一翼缘板和第二翼缘板，以及设于所述第一翼缘板和所述第二翼缘板之间且与其分别垂直的腹板，所述第一翼缘板安设于地面，所述导轨设于所述第二翼缘板上，所述导轨的长度方向平行所述第二翼缘板的长度方向。

进一步的，所述支撑架包括沿竖直方向设置的第一立柱和第二立柱，以及架设于所述第一立柱和所述第二立柱顶部的横架，所述横架沿水平方向延伸，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横架构成口字型框架。

进一步的，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横架通过焊接相连。

进一步的，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横架均为工字钢。

进一步的，所述压块为尼龙压块。

进一步的，所述调整装置还包括沿所述导轨的长度延伸方向滑动的架设于所述导轨上的至少两个滑动件，所述滑动件上设有用以承托所述阴极磁棒的支撑座。

进一步的，所述支撑座的上表面与所述阴极磁棒接触的部位为圆弧状，圆弧的直径与待矫正的所述阴极磁棒的直径相匹配。

进一步的，所述支撑座采用橡胶材质。

进一步的，所述数据采集装置与用以显示其所采得数据的显示装置电连接。

采用以上技术方案后，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：本实用新型的调整装置结构简单，在对阴极磁棒进行矫正时，只需要控制液压千斤顶的压块向下压住阴极磁棒即可；通过设置压力传感器和距离传感器，可以实时监控矫正过程中液压千斤顶对阴极磁棒施加的压力以及矫正部位的矫正量，防止矫正不足或矫正过度；将阴极磁棒滑动的设置在导轨上，便于实现阴极磁棒各个部位的矫正。

附图说明

附图1为本实用新型的调整装置的轴测图；