[实用新型]一种集成光电子器件制造用蚀刻装置

说明书

本实用新型公开了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其结构包括蚀刻机主体、功率调节钮、电源开关、可调支脚、停止按钮、启动按钮、显示屏、压力表、固定环、蚀刻室门、固定块、合页，蚀刻机主体的正表面设有功率调节钮，电源开关的背面固定安装于蚀刻机主体的正表面，停止按钮与启动按钮位于同一平面，可调支脚的上端与蚀刻机主体的底端螺纹连接；本实用新型一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，结构上蚀刻机主体，蚀刻机主体外壳的右端面与固定环左端面相贴合，红外线传感器对蚀刻室门的距离进行感应，当门打开后便会启动减速电机，使移动块将芯片安装座推出，在放置好芯片后，给予信号接收器一个信号便可以将移动块收回内部。

技术领域

本实用新型是一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，属于蚀刻机领域。

背景技术

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。

现有技术公开了申请号为：201521036311.X的一种蚀刻机，包括机体和蚀刻机构，所述蚀刻机构设于所述机体内，所述机体顶部为圆弧形，所述圆弧的凸起朝向远离所述蚀刻机构的一侧，但是该现有技术蚀刻机主体的入口较小，不易将芯片放入和取出。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，以解决蚀刻机主体的入口较小，不易将芯片放入和取出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其结构包括蚀刻机主体、功率调节钮、电源开关、可调支脚、停止按钮、启动按钮、显示屏、压力表、固定环、蚀刻室门、固定块、合页，所述蚀刻机主体的正表面设有功率调节钮，所述电源开关的背面固定安装于蚀刻机主体的正表面，所述停止按钮与启动按钮位于同一平面，所述可调支脚的上端与蚀刻机主体的底端螺纹连接，所述蚀刻机主体的正表面设有启动按钮并用电连接，所述显示屏固定安装于蚀刻机主体的正表面，所述压力表的背面与蚀刻机主体的正表面相贴合，所述固定环的背面固定安装于蚀刻机主体的正表面，所述蚀刻室门通过合页与固定块相连接，所述蚀刻机主体包括芯片安装座、移动块、螺杆、蚀刻机主体外壳、减速电机、触头、电磁铁、滚珠、通电座、拉力弹簧、信号接收器、红外线传感器，所述芯片安装座的底面与移动块的上表面相贴合，所述螺杆与移动块相啮合，所述蚀刻机主体外壳内安装有减速电机，所述触头安装于蚀刻机主体外壳的内部，所述滚珠的上表面与通电座的底面相贴合，所述电磁铁与信号接收器电连接，所述红外线传感器嵌入安装于蚀刻机主体外壳右端的内部。

进一步地，所述蚀刻机主体的正表面设有停止按钮并用电连接。

进一步地，所述固定块的背面固定安装于蚀刻机主体的正表面。

进一步地，所述蚀刻机主体外壳的右端面与固定环左端面相贴合。

进一步地，所述显示屏为长210mm宽20mm高120mm的长方体结构。

进一步地，所述合页采用不锈钢制造。

进一步地，所述可调支脚采用ABB材料制造。

有益效果

本实用新型一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，结构上蚀刻机主体，蚀刻机主体外壳的右端面与固定环左端面相贴合，红外线传感器对蚀刻室门的距离进行感应，当门打开后便会启动减速电机，使移动块将芯片安装座推出，在放置好芯片后，给予信号接收器一个信号便可以将移动块收回内部。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种集成光电子器件制造用蚀刻装置的结构示意图；