[实用新型]一种集成光电子器件制造用蚀刻装置有效
| 申请号： | 201820556895.0 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN208183077U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄炳煌 | 申请（专利权）人： | 南京钜力智能制造技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C25F7/00;C25F3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211111 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻机 集成光电子器件 蚀刻装置 本实用新型 电源开关 功率调节 可调支脚 启动按钮 停止按钮 固定环 蚀刻室 移动块 正表面 压力表 制造 红外线传感器 芯片安装座 信号接收器 背面固定 减速电机 螺纹连接 主体外壳 固定块 右端面 上端 底端 合页 贴合 左端 显示屏 芯片 | ||
1.一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：其结构包括蚀刻机主体(1)、功率调节钮(2)、电源开关(3)、可调支脚(4)、停止按钮(5)、启动按钮(6)、显示屏(7)、压力表(8)、固定环(9)、蚀刻室门(10)、固定块(11)、合页(12)，所述蚀刻机主体(1)的正表面设有功率调节钮(2)，所述电源开关(3)的背面固定安装于蚀刻机主体(1)的正表面，所述停止按钮(5)与启动按钮(6)位于同一平面，所述可调支脚(4)的上端与蚀刻机主体(1)的底端螺纹连接，所述蚀刻机主体(1)的正表面设有启动按钮(6)并用电连接，所述显示屏(7)固定安装于蚀刻机主体(1)的正表面，所述压力表(8)的背面与蚀刻机主体(1)的正表面相贴合，所述固定环(9)的背面固定安装于蚀刻机主体(1)的正表面，所述蚀刻室门(10)通过合页(12)与固定块(11)相连接，所述蚀刻机主体(1)包括芯片安装座(101)、移动块(102)、螺杆(103)、蚀刻机主体外壳(104)、减速电机(105)、触头(106)、电磁铁(107)、滚珠(108)、通电座(109)、拉力弹簧(1010)、信号接收器(1011)、红外线传感器(1012)，所述芯片安装座(101)的底面与移动块(102)的上表面相贴合，所述螺杆(103)与移动块(102)相啮合，所述蚀刻机主体外壳(104)内安装有减速电机(105)，所述触头(106)安装于蚀刻机主体外壳(104)的内部，所述滚珠(108)的上表面与通电座(109)的底面相贴合，所述电磁铁(107)与信号接收器(1011)电连接，所述红外线传感器(1012)嵌入安装于蚀刻机主体外壳(104)右端的内部。
2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻机主体(1)的正表面设有停止按钮(5)并用电连接。
3.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述固定块(11)的背面固定安装于蚀刻机主体(1)的正表面。
4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻机主体外壳(104)的右端面与固定环(9)左端面相贴合。
5.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述显示屏(7)为长210mm宽20mm高120mm的长方体结构。
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