[实用新型]气相沉积冷却装置

权利要求书

1.一种气相沉积冷却装置，应用于在线式气相沉积装置上，所述在线式气相沉积装置包括：真空沉积区和载体；所述载体可携带基片运动至所述真空沉积区内进行薄膜沉积，其特征在于，包括：冷却液注入机构和升降装置；所述冷却液注入机构包括：注液部件和进液管；

所述注液部件设置在所述真空沉积区内，当所述载体停留在所述真空沉积区内时，所述注液部件在所述升降装置的驱动下上下移动插入所述载体内部的冷却液容纳区内，注入冷却液；所述进液管从外部伸入所述真空沉积区内并与所述注液部件连通，以便于从外部通过所述注液部件向所述冷却液容纳区内注入冷却液。

2.如权利要求1所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，还包括：出水部件和出液管；

所述注液部件设置在所述载体的一侧，所述出水部件设置在所述载体的另一侧；

所述出水部件设置在所述真空沉积区内，当所述载体停留在所述真空沉积区内时，所述出水部件在所述升降装置的驱动下上下移动插入所述载体内部的冷却液容纳区内，以使冷却液流出所述载体；

所述出液管从外部伸入所述真空沉积区内并与所述出水部件连通，以便于将所述冷却液容纳区内的冷却液通过出水部件流出。

3.如权利要求2所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述注液部件和/或出水部件包括：插头；所述载体设有与所述冷却液容纳区连通的液体进口和/或液体出口，所述载体位于所述液体进口和/或液体出口处设有套管；当所述载体停留在所述真空沉积区内时，所述注液部件和/或出水部件的插头在所述升降装置的驱动下与所述注液部件和/或出水部件的套管相互套合。

4.如权利要求3所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述载体的液体进口和/或液体出口通过橡胶薄膜封堵。

5.如权利要求2所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，还包括：冷却液供应装置、供气装置和三通阀门；所述进液管、冷却液供应装置和供气装置分别通过三通阀门连通。

6.如权利要求2所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述进液管和/或出液管为软管。

7.如权利要求2-6任一项所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述升降装置包括：升降杆和密封套；

所述升降杆的顶部伸入所述真空沉积区内并可上下移动；

所述密封套套设在所述升降杆上与所述真空沉积区衔接密封。

8.如权利要求7所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述升降装置还包括：升降板，所述升降板设置在所述升降杆的顶部，所述注液部件和/或出水部件固定在所述升降板上。

9.如权利要求7所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述密封套为弹性密封套。

10.如权利要求8所述的气相沉积冷却装置，其特征在于，所述密封套为波纹管，所述波纹管的第一端封堵，所述波纹管的第二端与所述真空沉积区连通；所述升降杆的底部与所述波纹管的第一端连接，随所述波纹管上下移动；所述注液部件和/或出水部件固定在所述升降板上。