[实用新型]一种小型真空高压电极

说明书

本实用新型提供一种小型真空高压电极，包括真空密封盖板，具有阶梯型通孔，阶梯型通孔具有直径最大通孔部分、次小通孔部分和最小通孔部分；金属电极，穿过真空密封盖板的阶梯型通孔；第一绝缘片具有通孔供金属电极穿过，并且设置在最小通孔部分和部分次小通孔部分中；第二绝缘片具有通孔供金属电极穿过，并且设置在最大通孔部分中；和密封胶填充在第一绝缘片与第二绝缘片之间。本实用新型真空高压电极具有小型化、价格低廉等优势。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪检测领域，尤其涉及一种小型真空高压电极。

背景技术

真空高压电极是质谱仪常用的真空器件，用于穿过真空腔壁，将大气端的各种电信号传输到密闭的真空腔内部。

现有市场上的真空高压电极体积一般较大，价格昂贵，并不适用于小型质谱仪等空间狭小的场合。

随着高压真空器件向小型化的方向发展，缩小真空高压电极的体积也是小型化质谱仪设计亟带解决的问题之一。

发明内容

为克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提出一种小型真空高压电极，如图1、2所示，包括真空密封盖板1，真空密封盖板具有阶梯型通孔，阶梯型通孔具有直径最大通孔部分、次小通孔部分和最小通孔部分；金属电极2，金属电极2穿过真空密封盖板1的阶梯型通孔；第一绝缘片3，第一绝缘片3具有通孔供金属电极2穿过，并且设置在最小通孔部分和部分次小通孔部分中；第二绝缘片5，第二绝缘片5具有通孔供金属电极穿过，并且设置在最大通孔部分中；和密封胶4，密封胶4填充在第一绝缘片3与第二绝缘片5之间。

优选的，金属电极2为圆柱形。

进一步的，金属电极2穿过真空密封盖板1的部分的直径大于金属电极2未穿过真空密封盖板1部分的直径，并且分为直径不同的两部分。

进一步的，第一绝缘片3的纵向剖面为T型，高度与金属电极2穿过真空密封盖板1的部分中直径较小的部分的高度相同。

进一步的，第二绝缘片5的高度与最大通孔部分的高度相等。

本实用新型的有益效果：第一绝缘片、金属电极与第二绝缘片通过真空密封胶粘接，金属电极两端的长度可以根据实际需求定制长短，降低了高压真空电极的体积；而且其结构简单，降低了加工成本。

附图说明

图1为根据本实用新型的一个实施例的真空高压电极的结构示意图；

图2为根据本实用新型的一个实施例的真空高压电极的爆炸图；

其中：1.真空密封盖板；2.金属电极；3.第一绝缘片；4.密封胶；5.第二绝缘片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型提供的一种真空高压电极进行详细描述。然而，对于本领域内的普通技术人员而言，可以仅仅利用本实用新型的一些或者全部结构或者流程来实施本实用新型。为了不混淆本实用新型，对于一些众所周知的特征将不再进行详细阐述。

根据本实用新型，提出一种真空高压电极，如图1、2所示，包括：真空密封盖板1，真空密封盖板具有阶梯型通孔，阶梯型通孔具有直径最大通孔部分、次小通孔部分和最小通孔部分；金属电极2，金属电极2穿过真空密封盖板1的阶梯型通孔；第一绝缘片3，第一绝缘片3具有通孔供金属电极2穿过，并且设置在最小通孔部分和部分次小通孔部分中；第二绝缘片5，第二绝缘片5具有通孔供金属电极穿过，并且设置在最大通孔部分中；和密封胶4，密封胶填充在第一绝缘片3与第二绝缘片5之间。

其中，第一绝缘片3和第二绝缘片5紧密包裹穿过其中的金属电极2，密封胶4可以使得绝缘片、金属电极之间粘贴牢固，同时密封住真空。伸出真空密封盖板1的金属电极的长度和真空密封盖板1的大小可以进行设定，使得真空高压电极能够适应小型化的需求。