[实用新型]一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置有效

专利信息
申请号: 201820522371.X 申请日: 2018-04-13
公开(公告)号: CN208485943U 公开(公告)日: 2019-02-12
发明(设计)人: 胡忍 申请(专利权)人: 江西忠朋陶瓷有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/54
代理公司: 南昌赣西专利代理事务所(普通合伙) 36121 代理人: 何彬
地址: 330813*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 真空室 高能脉冲 陶瓷涂层 装置主体 电沉积 温度感应器 温度显示器 真空室内部 出水管 散热仓 支撑柱 真空管 蓄电池 本实用新型 排水管 工作效率 散热电机 散热扇叶 缩短装置 循环冷却 增加装置 进水管 万向轮 真空泵 转轴 冷却 检测 移动 观察
【权利要求书】:

1.一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置,包括装置主体(1),其特征在于:所述装置主体(1)的顶部分别设置有蓄电池(2)和支撑柱(8),所述支撑柱(8)的顶端一侧设置有真空室(4),所述真空室(4)的外表面分别设置有进水管(5)、出水管(25)和置物门(28),且所述真空室(4)的一侧通过真空管(9)连接有真空泵(10),同时所述真空室(4)的顶部设置有散热仓(7),所述真空泵(10)的一侧设置有排气管(11),所述装置主体(1)的顶部一侧设置有操作台(12),所述操作台(12)的顶部设置有温度显示器(13),所述温度显示器(13)的一侧分别设置有启动按钮(14)和散热按钮(15),所述装置主体(1)的底部设置有万向轮(16),所述真空室(4)的内表面分别设置有石墨靶(22)和电子枪(23),所述真空室(4)的内表面下方设置有金属靶(24),所述真空室(4)的内表面一侧设置有驱动电机(3),所述散热仓(7)的一侧设置有散热滤孔(6)。

2.根据权利要求1所述的一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置,其特征在于:所述驱动电机(3)通过焊接的方式与真空室(4)进行固定,且所述驱动电机(3)的外表面一侧通过第二转轴(27)与旋转样品仓(21)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置,其特征在于:所述散热仓(7)的内表面上方设置有散热电机(17),所述散热电机(17)的一侧通过第一转轴(18)活动连接有散热扇叶(19)。

4.根据权利要求1所述的一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置,其特征在于:所述真空室(4)是具有双层壁的真空密封圆柱状结构,且所述真空室(4)的内壁设置有多个加热器(20)。

5.根据权利要求2所述的一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置,其特征在于:所述旋转样品仓(21)的上方设置有温度感应器(26)。

6.根据权利要求1所述的一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置,其特征在于:所述进水管(5)与出水管(25)均与真空室(4)的双层壁之间的内部空间连通。

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