[实用新型]材料吸气放气率测试装置

权利要求书

1.一种材料吸气放气率测试装置，包括设置在工作面上的吸气测试系统和放气测试系统、进出样室和进出样分子泵，所述的进出样室连接所述的进出样分子泵，其特征在于：所述的吸气测试系统和放气测试系统交叉设置，交叉点为进出样室，所述的吸气测试系统包括吸气送样杆、吸气性能测试室、第一流导管选择阀和进气管微漏阀，所述的进出样室一端连接吸气送样杆，所述的进出样室的另一端连接吸气性能测试室，所述的放气测试系统包括放气送样杆、放气性能测试室和第二流导管选择阀，进出样室的一端连接放气送样杆，进出样室的另一端连接放气性能测试室，还设置有第一管道、第二管道和第三管道，所述的第一管道和第二管道分别连接吸气性能测试室，所述的第三管道连接放气性能测试室，在第一管道和第三管道之间设置有第二流导管选择阀，在第二管道和第一管道之间设置有第一流导管选择阀，在第一管道上设置有两个进气管微漏阀。

2.根据权利要求1所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：所述的吸气性能测试室内设置有石墨加热片、热电偶、第一热阴极电离规和磁悬浮转子规，石墨加热片，由热电偶随时测量吸气性能测试室内的温度，所述的第一热阴极电离规用于测试实验中的实时真空度，所述的磁悬浮转子管用于校准第一热阴极电离规。

3.根据权利要求1所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：所述的放气性能测试室内设置有第二热阴极电离规、薄膜真空规和芯片破坏装置，所述的第二热阴极电离规测试破坏前所述的放气性能测试室的真空度，所述的薄膜真空规测试破坏后的所述的放气性能测试室的真空度。

4.根据权利要求3所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：还设置有残余气体分析仪，所述的残余气体分析仪连接放气性能测试室。

5.根据权利要求1所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：在所述的进出样室和吸气送样杆之间设置有第三阀门，在所述的进出样室和放气送样杆之间设置有第四阀门。

6.根据权利要求1所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：所述的第一流导管选择阀设置有六个，第二流导管选择阀设置有三个。

7.根据权利要求1所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：在所述的吸气性能测试室和所述的第一管道之间设置有吸气隔断插板阀，在所述的放气性能测试室和所述的第一管道之间设置有放气隔断插板阀。

8.根据权利要求1所述的材料吸气放气率测试装置，其特征在于：还设置有控制系统，所述的控制系统连接吸气测试系统和放气测试系统。