[实用新型]一种升摆组件及升摆阀

说明书

本实用新型的目的是提供一种升摆组件及升摆阀。升摆组件包括第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件包括第一驱动机构，第一驱动机构具有执行轴，第二驱动组件包括第二驱动机构，第二驱动机构具有套筒件；执行轴包括轴本体和输出部，套筒件套设在输出部上并与输出部可传动地轴孔配合；轴本体被设置成能够带动输出部在套筒件内沿直线滑动；套筒件被设置成能够自转以带动输出部自转。由于第一驱动组件和第二驱动组件能驱动同一个输出部运动，因此第一驱动组件和第二驱动组件的驱动效果只需要设置一个执行件就能向外界输出，因此本申请的升摆组件具有更简单的结构。本实用新型提供的升摆阀，包括上述升摆组件，从而具有更简单的结构及稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种升摆组件及升摆阀。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现有技术中的“单晶炉”上采用的是翻板阀，阀门总高度是升摆阀的3倍以上，而阀门越高“单晶炉”所生产的晶棒长度就越短，所以阀门高度下降后可以提高生产效率。

市场上有一种适用于单晶炉的升摆阀，能够有效降低阀门高度。该升摆阀包括阀板和驱动装置。该驱动装置使用两个气缸，两个气缸的活塞轴分别对阀板执行升降和摆动的动作，这种升摆阀的结构较为复杂，并且稳定性欠佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种升摆组件，其具有结构简单的优点。

本实用新型的目的还在于提供一种升摆阀，该升摆阀包括上述升摆组件，从而具有结构简单的优点。

为实现所述目的的升摆组件，包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动机构，所述第一驱动机构具有执行轴，所述第二驱动组件包括第二驱动机构，所述第二驱动机构具有套筒件；所述执行轴包括轴本体和输出部，所述套筒件套设在所述输出部上，并与所述输出部可传动地轴孔配合；所述轴本体被设置成能够带动所述输出部在所述套筒件内沿直线滑动；所述套筒件被设置成能够自转，以带动所述输出部自转。

在一个实施例中，所述第二驱动组件还包括壳体，所述第二驱动机构固定设置在所述壳体内；所述执行轴贯穿所述壳体，其中，所输出部的一部分位于所述壳体内并与所述套筒件可传动地轴孔配合，所述输出部的余下部分位于所述壳体外。

在一个实施例中，所述第一驱动机构为直行程气缸机构，所述第二驱动机构为角行程气缸机构。

为实现所述目的的升摆阀，包括阀芯组件，所述升摆阀还包括如上所述的升摆组件，所述升摆组件与所述阀芯组件可传动地连接，以带动所述阀芯组件运动，从而关闭或者打开所述升摆阀。

在一个实施例中，所述阀芯组件包括阀板、摆臂和主轴；所述主轴的一端与所述升摆组件可传动地连接，所述摆臂的一端与所述主轴固定连接，另一端与所述阀板连接；所述升摆阀还包括阀壳，所述摆臂和所述阀板设置在所述阀壳内部，所述阀壳限定出所述摆臂和所述阀板的摆动空间和移动空间；所述阀壳的壁体上具有阀孔，所述阀板被设置成能够密封覆盖所述阀孔，从而关闭所述升摆阀；所述阀板还被设置成能够从所述阀孔上移开，从而打开所述升摆阀。

在一个实施例中，所述阀板、摆臂和主轴的内部设置有第一换热介质通道，所述第一换热介质通道的出口和入口均开设在所述主轴上。

在一个实施例中，所述第一换热介质通道包括设置在阀板内的阀板冷却通道、设置在所述摆臂内的第二流入通道和第二流出通道和设置在所述主轴内的第一流入通道和第一流出通道，其中，所述第一流入通道的出口与所述第二流入通道的入口连通，所述第二流入通道的出口与所述阀板冷却通道的入口连通，所述阀板冷却通道的出口与所述第二流出通道的入口连通，所述第二流出通道的出口与所述第一流出通道的入口连通；所述第一流入通道的入口为所述第一换热介质通道的入口，用于引入外界换热介质，以与所述阀芯组件进行换热，所述第一流出通道的出口为所述第一换热介质通道的出口，用于将换热后的所述外界换热介质引出所述阀芯组件。