[实用新型]一种镀膜机观察装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机观察装置，其特征在于，主要由中空主体(1)，设置在中空主体(1)前端上的影像采集组件，以及设置在中空主体(1)后端的观察组件组成。本实用新型设置在中空主体前端上的影像采集组件由防尘罩，主镜片和副镜片组成，其防尘罩能很好的防止靶材分子沉降到主镜片和副镜片上，而主镜片和副镜片形成一个折射镜，不仅很好防止了靶材分子吸附到目镜上，而且操作者通过副镜片便能清楚的观察到基片的镀膜情况，操作者的眼睛不需与镀膜机内的强光相对，从而确保了本实用新型能很好的解决现有的镀膜观察装置长时间使用后目镜上容易被大量的靶材分子吸附，和观察不便的缺陷。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜观察装置，具体是指一种镀膜机观察装置。

背景技术

阻蒸镀膜一般是通过设置在镀膜机内的阻蒸设备来加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。阻蒸镀膜时操作者通过设置在镀膜机门上的镀膜观察装置对基片的镀膜情况进行实时观测，以便于对靶材的蒸发量进行控制。

然而，现有的镀膜观察装置主要是由中空主体和目镜组成，操作者是直接通过目镜来对基片的镀膜情况进行实时观测，这种镀膜观察装置不仅存在长时间使用后，其目镜上会被吸附上大量的靶材分子，还存在观察不便的问题，导致目镜的清晰度降低，致使操作者不能很好的对镀膜机内的基片镀膜情况进行观测，从而使操作者不能准确的对靶材的蒸发量进行控制，严重的影响了基片的镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有的镀膜观察装置不仅存在长时间使用后目镜上容易被大量的靶材分子吸附，还存在观察不便的缺陷，提供一种镀膜机观察装置。

本实用新型的目的通过下述技术方案现实：一种镀膜机观察装置，主要由中空主体，设置在中空主体前端上的影像采集组件，以及设置在中空主体后端的观察组件组成；所述影像采集组件包括与中空主体相连接的防尘罩，倾斜设置在防尘罩内壁上的主镜片，以及倾斜设置在防尘罩内壁上并与主镜片相互平行的副镜片；所述副镜片位于主镜片的下方。

进一步的所述防尘罩上倾斜设置有主滑槽和副滑槽，且主滑槽和副滑槽分别倾斜设置在防尘罩上；所述副滑槽位于主滑槽的下方并与主滑槽相互平行；所述主镜片安装在主滑槽上并能滑动，所述副镜片安装在副滑槽上并能滑动。

所述主滑槽和副滑槽的数量均为两个；所述两个主滑槽对称设置在防尘罩的内壁上，所述两个副滑槽对称设置在防尘罩的内壁上。

所述观察组件包括与中空主体后端相连接的空腔体，和设置在空腔体内的目镜。

为了防止操作者在观察基片的镀膜情况时，操作者的眼睛被镀膜机内的强光灼伤，所述空腔体上还设有滤光装置，所述滤光装置包括通过合页与空腔体相连接的安装架，和设置在安装架上的滤片。

为了使本实用新型的防尘罩便于安和拆卸，所述中空主体上设置有安装板，所述防尘罩连接在安装板上。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点及有益效果：

(1)本实用新型结构简单，使用方便，生产与使用的成本较低，本实用新型设置在中空主体前端上的影像采集组件由防尘罩，主镜片和副镜片组成，其防尘罩能很好的防止靶材分子沉降到主镜片和副镜片上，而主镜片和副镜片形成一个折射镜，不仅很好防止了靶材分子吸附到目镜上，而且操作者通过副镜片便能清楚的观察到基片的镀膜情况，操作者的眼睛不需与镀膜机内的强光相对，从而确保了本实用新型能很好的解决现有的镀膜观察装置长时间使用后目镜上容易被大量的靶材分子吸附，和观察不便的缺陷。

(2)本实用新型的主镜片通过主滑槽设置在防尘罩上，副镜片通过副滑槽设置在防尘罩上，使主镜片和副镜片的安装和拆卸更方便，并有效的防止了主镜片和副镜片被靶材分子污染。