[实用新型]一种镀膜机观察装置有效
| 申请号： | 201820415268.5 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN208266262U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 孙力;杨小军;张韬 | 申请（专利权）人： | 成都西沃克真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 | 代理人： | 成实 |
| 地址： | 610091 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中空主体 副镜片 本实用新型 观察装置 镀膜机 主镜片 靶材 防尘罩 分子吸附 影像采集 镀膜 目镜 强光 观察组件 沉降 折射镜 观察 | ||
1.一种镀膜机观察装置，其特征在于，主要由中空主体(1)，设置在中空主体(1)前端的影像采集组件，以及设置在中空主体(1)后端的观察组件组成；所述影像采集组件包括与中空主体(1)相连接的防尘罩(2)，倾斜设置在防尘罩(2)内壁上的主镜片(5)，以及倾斜设置在防尘罩(2)内壁上并与主镜片(5)相互平行的副镜片(6)；所述副镜片(6)位于主镜片(5)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机观察装置，其特征在于：所述防尘罩(2)上设置有主滑槽(7)和副滑槽(8)，且主滑槽(7)和副滑槽(8)分别倾斜设置在防尘罩(2)上；所述副滑槽(8)位于主滑槽(7)的下方并与主滑槽(7)相互平行；所述主镜片(5)安装在主滑槽(7)上并能滑动，所述副镜片(6)安装在副滑槽(8)上并能滑动。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机观察装置，其特征在于：所述主滑槽(7)和副滑槽(8)的数量均为两个；所述两个主滑槽(7)对称设置在防尘罩(2)的内壁上，所述两个副滑槽(8)对称设置在防尘罩(2)的内壁上。
4.根据权利要求3所述的一种镀膜机观察装置，其特征在于：所述观察组件包括与中空主体(1)相连接的空腔体(3)，和设置在空腔体(3)内的目镜(10)。
5.根据权利要求4所述的一种镀膜机观察装置，其特征在于：所述空腔体(3)上还设有滤光装置，所述滤光装置包括通过合页(9)与空腔体(3)相连接的安装架(11)，和设置在安装架(11)上的滤片(12)。
6.根据权利要求5所述的一种镀膜机观察装置，其特征在于：所述中空主体(1)上设置有安装板(4)，所述防尘罩(2)安装在安装板(4)上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都西沃克真空科技有限公司，未经成都西沃克真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820415268.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：玻璃夹具
- 下一篇：一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线
- 同类专利
- 专利分类
