[实用新型]一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线

说明书

本实用新型涉及一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线。该装置包括有超声波清洗池，位于超声波清洗池外围设有旋转运送机构，位于旋转运送机构外围分别设有第一输送装置以及沥水输送装置，旋转运送机构包括有竖直设置的支撑杆，支撑杆上部套接有旋转套管，旋转套管的上部外周呈放射性铰接有多根连杆，各连杆的自由端设有向上翘起的弯钩部，旋转套管的下部外周呈放射性铰接有多个气缸，各气缸的活塞杆自由端与对应连杆的中部铰接，还包括有用于盛放硅片的提篮。由于旋转运送机构与第一输送装置、超声波清洗池以及沥水输送装置相配合，旋转运送机构将待清洗的硅片运送到超声波清洗池清洗，再从超声波清洗池捞出放置到沥水输送装置上进入下道工序。

技术领域

本实用新型涉及硅片制造技术领域，尤其涉及一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线。

背景技术

现有的中国专利数据库中公开了硅片清洗装置，其申请号为201710294092.2，申请日为2017.04.28，申请公布号为CN106955864A，申请公布日为2017.07.18，该装置包括清洗槽，还包括环状清洗机架，环状清洗机架上设有输送轨道，输送轨道上设有多个硅片输送托架，输送轨道包括输送直道、与输送直道相连接的输送斜波道以及环状机架两端的环形输送道，在环形清洗机架的直线段设有清洗室，环形清洗机架的在另一直线段处设有干燥室，清洗室内设有多个倾斜下沉清洗槽，输送轨道输送经过清洗室，倾斜下沉清洗槽内的槽内输送轨道具有槽内输送直道和槽内输送斜波段，倾斜下沉清洗槽两端均设有槽内输送斜波段，槽内输送斜波段高端头与上输送直道相连接，相邻倾斜下沉清洗槽相互间由上输送直道相输送连接；清洗室顶部设有多个上喷淋管，多个上喷淋管在清洗室内的高度采用可升降调节的结构方式，多个上喷淋管分别设置在内输送斜波段上方位置处，多个倾斜下沉清洗槽内底部均设有超声波清洗结构和加热结构；在环状清洗机架的一个环状端处设有多个环端倾斜下沉清洗槽，多个环端倾斜下沉清洗槽内底部均设有超声波清洗结构和加热结构。其不足之处在于：该清洗装置结构过于复杂，生产成本过高，且自动化程度较低，需要人为或其他装置将待清洗的硅片运送到清洗装置内，同时需要人为或其他装置将已清洗好的硅片从清洗装置内运出。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种自动化程度高的硅片清洗产线。

为了实现上述目的，本实用新型一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线所采取的技术方案：

一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，包括有超声波清洗池，位于超声波清洗池外围设有旋转运送机构，位于旋转运送机构外围分别设有用于运送待清洗的硅片的第一输送装置以及用于运送已清洗的硅片的沥水输送装置，所述旋转运送机构包括有竖直设置的支撑杆，支撑杆上部套接有旋转套管，旋转套管的上部外周呈放射性铰接有多根连杆，各连杆的自由端设有向上翘起的弯钩部，所述旋转套管的下部外周呈放射性铰接有多个气缸，各气缸的活塞杆自由端与对应连杆的中部铰接，还包括有用于盛放硅片的提篮。

本实用新型工作时，操作人员使旋转套管转动，旋转套管上的任一连杆朝向第一输送装置设置，与朝向第一输送装置连杆对应的气缸活塞杆收缩，连杆的弯钩部下落到第一输送装置的正上方，第一输送装置启动，将盛放有待清洗的硅片的提篮运向落下的弯钩部，提篮的把手套在弯钩部上，气缸活塞杆伸长，连杆的弯钩部将盛放有待清洗硅片的提篮提起离开第一输送装置，然后操作人员使旋转套管转动，提有提篮的连杆运动到超声波清洗池上方时旋转套管停止，对应的气缸活塞杆收缩，提篮落到超声波清洗池内，超声波清洗池工作，清洗硅片，硅片清洗干净后，对应的气缸活塞杆伸长，将提篮拖出超声波清洗池，操作人员再使旋转套管转动，提有提篮的连杆运动到沥水输送装置上方时旋转套管停止，对应的气缸活塞杆收缩，提篮落到沥水输送装置上，弯钩部与提篮分离，启动沥水输送装置，将盛有硅片的提篮运送到下道工序。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：由于旋转运送机构与第一输送装置、超声波清洗池以及沥水输送装置相配合，旋转运送机构将待清洗的硅片运送到超声波清洗池清洗，再从超声波清洗池捞出放置到沥水输送装置上进入下道工序。