[实用新型]一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线

权利要求书

1.一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，包括有超声波清洗池，其特征在于：位于超声波清洗池外围设有旋转运送机构，位于旋转运送机构外围分别设有用于运送待清洗的硅片的第一输送装置以及用于运送已清洗的硅片的沥水输送装置，所述旋转运送机构包括有竖直设置的支撑杆，支撑杆上部套接有旋转套管，旋转套管的上部外周呈放射性铰接有多根连杆，各连杆的自由端设有向上翘起的弯钩部，所述旋转套管的下部外周呈放射性铰接有多个气缸，各气缸的活塞杆自由端与对应连杆的中部铰接，还包括有用于盛放硅片的提篮。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，其特征在于：还包括有驱动电机，驱动电机的输出轴经连接件与旋转套管的端头传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，其特征在于：所述连接件为单臂外啮合槽轮机构，单臂外啮合槽轮机构包括有安装在旋转套管端头上的槽轮，与槽轮相配合且铰接在驱动电机输出轴上的转臂，转臂的端头设有圆柱销，所述槽轮上开设有与圆柱销相配合的开口槽。

4.根据权利要求1-3中任一权利要求所述的一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，其特征在于：位于旋转运送机构外围还设有漂洗已清洗硅片的清水池。

5.根据权利要求4所述的一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，其特征在于：所述沥水输送装置为输送辊台。

6.根据权利要求5所述的一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，其特征在于：所述超声波清洗池包括盛放洗涤液体的开口池以及设置在开口池内的若干超声波探头。