[实用新型]连续扫描激光快速测振系统

权利要求书

1.一种连续扫描激光快速测振系统，其特征在于，包括：

激光源，发射测量激光至高速X-Y扫描镜片；

高速X-Y扫描镜片：在连续正弦信号的驱动下引导测量激光在被测物体表面上连续扫描出一个封闭曲线；

控制器：发送连续正弦信号驱动高速X-Y扫描镜片，并接收激光源的振动信号，从而获取所述测量激光的振动信号和所述高速X-Y扫描镜片的镜片位置信号；

处理器：与所述控制器通信连接。

2.根据权利要求1所述的测振系统，其特征在于，所述控制器内设置滤波电路，所述滤波电路，包括运放器A1、运放器A2和运放器A3，运放器A1的同相输入端串联电阻R2和电阻R3，电阻R2和电阻R3之间的节点与运放器A1的输出端之间串联电容C1，运放器A1的同相输入端与地之间串联电容C2，运放器A1的反相输入端与地之间串联电阻R1，运放器A1的反相输入端与运放器A1的输出端之间串联滑动变阻器R4，运放器A1的输出端与地之间串联电阻R5，运放器A1的输出端与运放器A2之间的同相输入端之间串联电阻R6和电阻R7，运放器A2的同相输入端与地之间串联电容C5，电阻R6和电阻R7之间的节点与运放器A2的反相输入端之间串联电容C4，运放器A2的反相输入端与运放器A2输出端串联，运放器A2的输出端与运放器A3的反相输入端之间串联电阻R8，运放器A3的同相输入端接地，运放器A3的反相输入端与运放器A3的输出端之间串联电阻R9，电容C5与电阻R9并联。

3.根据权利要求2所述的测振系统，其特征在于，电阻R1的电阻值为27KΩ，电阻R2的电阻值为33KΩ，电阻R3的电阻值为33KΩ，电阻R4的电阻值为20KΩ，电阻R5的电阻值为10KΩ，电阻R6的电阻值为24KΩ,电阻R7的电阻值为2KΩ，电阻R8的电阻值为1.3KΩ，电阻R9的电阻值为1.5KΩ。

4.根据权利要求2所述的测振系统，其特征在于，电容C1的电容值为4.7nF，电容C2的电容值为4.7nF，电容C3的电容值为100nF，电容C4的电容值为50nF，电容C5的电容值为10nF。