[实用新型]工业用四氟化碳尾气回收处理装置

说明书

本实用新型公开了工业用四氟化碳尾气回收处理装置，包括第一进气管、储水箱、过滤水、导气管、第二进气管、混合罐、电动机、混合扇、第一导管、反应罐、第二导管、吸收罐、加液管、出气管、苯溶液、止水阀、第一安装台、控制板、微波电浆、第二安装台和第三安装台，所述第一进气管的一侧与储水箱连接，所述储水箱的内部设有过滤水，所述过滤水的顶部安装有导气管，所述第一安装台的一侧嵌入安装有控制板，所述第一安装台的顶部通过螺栓安装有混合罐，所述导气管的一侧通过法兰与混合罐连接，所述混合罐的底部内侧通过螺栓安装有电动机，该尾气回收处理装置，具有促使四氟化碳反应和吸收四氟化碳的功能。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，具体为工业用四氟化碳尾气回收处理装置。

背景技术

四氟化碳分子式CF4，常温下为无色气体，四氟化碳只能微溶于水；对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。分子呈正四面体结构。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。但此外四氟化碳也是一种造成温室效应的气体。它非常稳定，可以长时间停留在大气层中，是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为50,000年，全球增温(全球暖化)系数是6,500(二氧化碳的系数是1)，所以去除生产过程中不必要的四氟化碳气体非常重要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供工业用四氟化碳尾气回收处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：工业用四氟化碳尾气回收处理装置，包括第一进气管、储水箱、过滤水、导气管、第二进气管、混合罐、电动机、混合扇、第一导管、反应罐、第二导管、吸收罐、加液管、出气管、苯溶液、止水阀、第一安装台、控制板、微波电浆、第二安装台和第三安装台，所述第一进气管的一侧与储水箱连接，所述储水箱的内部设有过滤水，所述过滤水的顶部安装有导气管，所述储水箱的一侧设有第一安装台，所述第一安装台的一侧嵌入安装有控制板，所述第一安装台的顶部通过螺栓安装有混合罐，所述导气管的一侧通过法兰与混合罐连接，所述混合罐的一侧通过法兰安装有第二进气管，所述混合罐的底部内侧通过螺栓安装有电动机，所述电动机的输出轴上安装有混合扇，所述混合罐的顶部通过螺栓法兰安装有第一导管，所述第一安装台的一侧设有第二安装台，所述第二安装台的顶部通过螺栓安装有反应罐，所述第一导管的一侧与反应罐连接，所述反应罐的底部内侧通过螺栓安装有微波电浆，所述反应罐的顶部通过螺栓安装有第二导管，所述第二安装台的一侧设有第三安装台，所述第三安装台的顶部通过螺栓安装有吸收罐，所述第二导管的一侧通过法兰与吸收罐连接，所述第二导管的内部安装有止水阀，所述吸收罐的内部设有苯溶液，所述吸收罐的顶部一侧通过法兰安装有出气管，所述吸收罐的顶部另一侧通过法兰安装有加液管，所述控制板电性连接电动机、止水阀和微波电浆。

进一步的，所述第一导管与反应罐通过法兰连接。

进一步的，所述第二进气管注入由氩气、空气、甲烷、氮气和氧气组成的混合气体。

进一步的，所述第二导管与吸收罐通过法兰连接。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：该工业用四氟化碳尾气回收处理装置，将含有四氟化碳的尾气通过第一进气管导入到储水箱中，便于过滤水对四氟化碳尾气中的气体进行吸收；过滤完的四氟化碳将通过导气管导入到混合罐中，再通过第二进气管注入由氩气、空气、甲烷、氮气和氧气组成的混合气体，操作控制板启动电动机，电动机将带动混合扇，便于使得四氟化碳和混合气体充分混合；充分混合后的气体通过第一导管导入反应罐到中，操作控制板启动微波电浆，便于四氟化碳与混合气体发生反应，产物有CO2、H2O、HF、NO2和未分解的四氟化碳尾，有利于避免四氟化碳对环境造成污染；最后，反应后的气体通过第二导管导入到苯溶液中，便于对未反应的四氟化碳进行完全吸收。

附图说明