[实用新型]一种混装结构的蒸镀行星锅

说明书

本实用新型公开一种混装结构的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上，硅晶圆的外侧设置盖板，所述盖板外侧与锅盖抵接；所述锅盖固定在行星锅转轴上。本实用新型的优点是：保证了一次蒸镀能加工更多数量的硅晶圆。

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，具体说是一种蒸镀装置。

背景技术

现有的蒸镀设备结构形式很多，典型的是硅晶圆紧贴行星锅体，该结构在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂；另外，现有的结构采用两个螺丝之间的角度为110°，由于角度过大，蒸镀过程中，温度变化较大，而由于温度造成的热缩力及膨胀力在两个螺丝之间直接压迫硅晶圆，容易造成硅晶圆碎裂。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种行星锅，可有效解决上述技术问题，具体技术方案如下：

一种混装结构的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上，硅晶圆的外侧设置盖板，所述盖板外侧与锅盖抵接；所述锅盖固定在行星锅转轴上。

所述行星锅的材料为工业纯钛。

所述锅盖内侧设置弹片，所述弹片的位置与盖板的位置对应。

本实用新型的优点是：采用钛为原料的行星锅，保证了一次蒸镀能加工更多数量的硅晶圆。

材料更改的优点是：行星锅材料由316L不锈钢修改为工业纯钛，其优点是：

A.由于工业纯钛的密度仅为4.51g/cm3,而316L不锈钢的密度为 7.98g/cm3，在相同体积下，钛金属行星锅比316L不锈钢行星锅轻 45％。这样就减轻了操作工人的体力劳动，提高生产效率。

B.由于工业纯钛在20～700℃时，热膨胀系数为10.2x10-6/℃，而 316L不锈钢在20～800℃时的热膨胀系数19.0×10-6/℃左右。这样就减小行星锅在300℃高温工作下的热变形，减少由于行星锅变形导致的硅晶圆碎裂报废。

C.由于工业纯钛的导热系数为19.3W/(m*K)，而316L不锈钢的导热系数为15.1W/(m*K)。这样就加快了腔体升温和降温速度，减少行星锅运转的前期升温时间和后期降温时间，提高生产效率。

D.众所周知，金属钛在常温下有优良的耐腐蚀性能，能耐大部分的无机酸、有机酸、碱溶液、盐溶液等。这样就增加了行星锅的使用寿命，减少成本。

E.由于设置了承片圈，因此，固定螺丝不直接与硅晶圆接触，由固定螺丝传导来的力被承片圈所分散，保证硅晶圆不会损坏。

附图说明

图1为行星锅蒸镀原理示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为硅晶圆固定结构图；

图4为图3的局部放大图。

具体实施方式