[实用新型]一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台

说明书

一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，涉及一种实验设备，所述样品台包括三根安装于真空室底部的圆柱导轨，圆柱导轨上设有一个固定平板，固定平板与圆柱导轨用直线轴承连接；固定平板上设有丝母，配合一根进给丝杆；固定平板下面安装Ｘ轴移动托板，Ｘ轴移动托板用一只精密千分尺限位；Ｘ轴移动托板下面安装有Ｙ轴移动托板，Ｙ轴移动托板设有一只精密千分尺限位；Ｙ轴移动托板上设有三维样品台的支撑管，固定三维样品台，支撑管下面设有一组陶封电极，引出加热导线和温度传感器连接线。本三维样品台在真空设备中做三维移动，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件。

技术领域

本实用新型涉及一种实验设备，特别是涉及一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台。

背景技术

目前，在薄膜生长研究领域，无论是以磁控溅射的方式或者是以分子束外延方式进行薄膜生长，研究者希望在不破坏真空的情况下直接在生长设备中观测薄膜状态，但目前上述设备中安装的样品台只能做自转运动，无法左右、上下移动，限制了观测区域，本实用新型就是为了解决这一问题，而专门研发的。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，采用精密的千分尺代替丝杠做直线驱动单元，达到微米级的缓慢进给，为研究者提供便利的研究条件，本三维样品台在真空设备中做三维移动，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，所述样品台包括三根安装于真空室底部的圆柱导轨，圆柱导轨上设有一个固定平板，固定平板与圆柱导轨用直线轴承连接；固定平板上设有丝母，配合一根进给丝杆；固定平板下面安装Ｘ轴移动托板，Ｘ轴移动托板用一只精密千分尺限位；Ｘ轴移动托板下面安装有Ｙ轴移动托板，Ｙ轴移动托板设有一只精密千分尺限位；Ｙ轴移动托板上设有三维样品台的支撑管，固定三维样品台，支撑管下面设有一组陶封电极，引出加热导线和温度传感器连接线；

所述的一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，其所述支撑管外面设金属波纹管。

所述的一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，支撑管外面设金属波纹管呈伸缩、扭曲、封闭状。

本实用新型的优点与效果是：

本实用新型采用精密的千分尺代替丝杠做直线驱动单元，配合本司优选的驱动程序，可以达到微米级的缓慢进给，为研究者提供便利的研究条件；本实用新型的密封结构采用金属波纹管，三维样品台的支撑结构全在金属波纹管中，保证了设备的良好密封性能。基于以上特点，本三维样品台可以在真空设备中做三维移动，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的底视图；

图中标号名称：1样品台、2支撑管、3真空室的底面板、4金属波纹管、5进给丝杠、6圆柱导轨、7Ｘ轴精密进给千分尺、8直线轴承、9固定平板、10Ｙ轴精密进给千分尺、11步进减速电机、12Ｘ轴移动托板、13Ｘ轴直线导轨副、14Ｙ轴移动托板、15、Ｙ轴移动导轨副、16陶封电极。

具体实施方式

下面结合附图所示实施例对本发明进行详细说明。