[实用新型]一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台有效
| 申请号： | 201820243329.4 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN207850900U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李双江;董顺;曹崇友 | 申请（专利权）人： | 沈阳鹏程真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 21205 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 轴移动 托板 固定平板 三维样品台 三维移动 圆柱导轨 真空设备 样品台 精密千分尺 薄膜生长 实验用 支撑管 限位 连接线 温度传感器 加热导线 进给丝杆 实验设备 实验条件 在线观测 直线轴承 真空室 电极 丝母 研发 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，其特征在于，所述样品台包括三根安装于真空室底部的圆柱导轨，圆柱导轨上设有一个固定平板，固定平板与圆柱导轨用直线轴承连接；固定平板上设有丝母，配合一根进给丝杆；固定平板下面安装Ｘ轴移动托板，Ｘ轴移动托板用一只精密千分尺限位；Ｘ轴移动托板下面安装有Ｙ轴移动托板，Ｙ轴移动托板设有一只精密千分尺限位；Ｙ轴移动托板上设有三维样品台的支撑管，固定三维样品台，支撑管下面设有一组陶封电极，引出加热导线和温度传感器连接线。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，其特征在于，所述支撑管外面设金属波纹管。
3.根据权利要求2所述的一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，其特征在于，支撑管外面设金属波纹管呈伸缩、扭曲、封闭状。
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