[实用新型]一种用于非接触式面形测量的光学探头有效
| 申请号： | 201820235574.0 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207816197U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄启泰;管敏 | 申请（专利权）人： | 苏州大学;苏州斑马光学技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学探头 非接触式 被测件 测量光束 面形测量 运动机构 探头 球壳 反射 测量 聚焦 透镜 形貌 光学检测技术 透镜内表面 参考光束 调整运动 法线方向 干涉光路 干涉条纹 光学系统 机械定位 计量装置 精度降低 聚焦透镜 数据处理 像方焦点 被测点 非接触 分束器 干涉式 高陡度 可测量 格林 记录 减小 面形 对准 引入 成功 | ||
1.一种用于非接触式面形测量的光学探头，该光学探头由干涉光路组成，所述干涉光路包括光源、准直透镜、分束器、成像透镜、聚焦透镜、平面反射镜、球壳透镜、CCD图像传感器；以光源所在一侧为物方，所述光源发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束，参考光被垂直放置的平面反射镜反射后原路返回，再次通过分束器被成像透镜聚焦于CCD图像传感器上；
透射过分束器的光作为测量光束，测量光束与参考光束等光程，测量光束经过聚焦透镜后聚焦于聚焦透镜的像方焦点处；所述的球壳透镜内表面设置有半透半反膜，且球壳透镜放置在聚焦透镜与聚焦透镜的像方焦点之间，球壳透镜的球心与聚焦透镜的像方焦点重合。
2.根据权利要求1所述的一种用于非接触式面形测量的光学探头，其特征在于：所述的球壳透镜与聚焦透镜之间还设置有小孔光阑。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于非接触式面形测量的光学探头，其特征在于：还包括运动机构；所述的光学探头安装在运动机构上，用于调整被测件与光学探头之间相对位置，且该运动机构上设置有位置计量装置，用于记录位置变化量。
4.根据权利要求3所述的一种用于非接触式面形测量的光学探头，其特征在于：所述的运动机构由三个相互垂直平移机构组成，其中一个平移机构竖直方向设置。
5.根据权利要求3所述的一种用于非接触式面形测量的光学探头，其特征在于：所述的运动机构上设置的位置计量装置为光栅尺。
6.根据权利要求3所述的一种用于非接触式面形测量的光学探头，其特征在于：所述的运动机构上设置的位置计量装置为锆钛酸铅压电陶瓷位移位置计量装置。
7.根据权利要求3所述的一种用于非接触式面形测量的光学探头，其特征在于：所述的平面反射镜与分束器之间还设置有减光板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学;苏州斑马光学技术有限公司，未经苏州大学;苏州斑马光学技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820235574.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
