[实用新型]微型水冷可调整电极、真空炉

说明书

本实用新型涉及真空炉技术领域，公开了一种微型水冷可调整电极和真空炉，电极包括外电极杆、电极座、与外电极杆可拆卸连接的内电极杆；外电极杆内设有水冷通道，水冷通道连通有进水口和出水口；外电极杆外套设有密封圈、密封圈压套和绝缘压板；密封圈压套套在密封圈外，以将密封圈压紧在外电极杆上，绝缘压板位于密封圈压套一侧；电极座套设在外电极杆上，且与密封压套通过紧固件连接，电极座与外电极杆之间不接触；内电极杆外套设有绝缘套。本实用新型提供的微型水冷可调整电极，尺寸小、节省安装空间，同时实现了电极安装位置的可调整，方便使用过程中对内电极杆进行维修与更换；电极结构简单，安装方便，有利于降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及真空炉技术领域，特别是涉及一种微型水冷可调整电极和真空炉。

背景技术

真空烤盘炉是LED制造行业的一种新型真空设备，与MOCVD(Metal-organicChemical Vapor Deposition，金属有机化合物化学气相沉淀)设备配套使用。电极是真空烤盘炉上的重要部件，与烤盘炉内部的电加热元件电气连接，且需工作在高温环境下。为了延长电极的使用寿命，现有的电极内部大多设置有水冷通道，水冷通道连通有进水口和出水口。

现有的水冷电极往往通过法兰盘固定连接在电极座上，整体的尺寸较大，占用空间大，安装不方便，不利于真空炉的小型化和生产成本的降低。此外，电极在使用过程中会发生损耗，而现有的固定式安装的电极不利于使用过程中电极位置的调整。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种微型水冷可调整电极和真空炉，以解决现有的水冷电极尺寸大、不方便实现位置调整的缺陷。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种微型水冷可调整电极，其特征在于，包括：外电极杆、电极座、与所述外电极杆可拆卸连接的内电极杆；

所述外电极杆内设有水冷通道，所述水冷通道连通有进水口和出水口；

所述外电极杆外套设有密封圈、密封圈压套和绝缘压板；所述密封圈压套套在所述密封圈外，以将所述密封圈压紧在所述外电极杆上，所述绝缘压板位于所述密封圈压套一侧；

所述电极座套设在所述外电极杆上，且与所述密封压套通过紧固件连接，所述电极座与所述外电极杆之间不接触；

所述内电极杆外套设有绝缘套。

其中，所述内电极杆的一端还设置有连接件，所述连接件用于连接所述内电极杆和真空炉中的加热器。

其中，所述外电极杆包括杆部和端部，所述水冷通道包括设置在所述杆部内的腔体，和固定设置在所述端部上且插入在所述腔体内的导水管；所述导水管连通有所述进水口，所述腔体连通有所述出水口。

其中，所述进水口和所述出水口临近设置在所述外电极杆的同侧。

其中，所述杆部与所述端部焊接连接。

其中，所述可拆卸连接为螺纹连接。

其中，所述外电极杆上还固定设置有用于连接电缆的铜块。

本实用新型还提供一种真空炉，配置有如上所述的微型水冷可调整电极；所述微型水冷可调整电极的电极座焊接在所述真空炉的壳体上。

(三)有益效果