[实用新型]微型水冷可调整电极、真空炉有效
| 申请号： | 201820219029.2 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN207991287U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 赵建国 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D11/10 | 分类号： | F27D11/10;H05B7/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100027 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外电极 密封圈 可调整 电极 电极座 真空炉 水冷 本实用新型 密封圈压套 绝缘压板 水冷通道 内电极 电极安装位置 紧固件连接 可拆卸连接 安装方便 安装空间 电极结构 密封压套 不接触 出水口 电极杆 进水口 绝缘套 压紧 连通 维修 | ||
1.一种微型水冷可调整电极，其特征在于，包括：外电极杆、电极座、与所述外电极杆可拆卸连接的内电极杆；
所述外电极杆内设有水冷通道，所述水冷通道连通有进水口和出水口；
所述外电极杆外套设有密封圈、密封圈压套和绝缘压板；所述密封圈压套套在所述密封圈外，以将所述密封圈压紧在所述外电极杆上，所述绝缘压板位于所述密封圈压套一侧；
所述电极座套设在所述外电极杆上，且与所述密封压套通过紧固件连接，所述电极座与所述外电极杆之间不接触；
所述内电极杆外套设有绝缘套。
2.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述内电极杆的一端还设置有连接件，所述连接件用于连接所述内电极杆和真空炉中的加热器。
3.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述外电极杆包括杆部和端部，所述水冷通道包括设置在所述杆部内的腔体，和固定设置在所述端部上且插入在所述腔体内的导水管；所述导水管连通有所述进水口，所述腔体连通有所述出水口。
4.如权利要求3所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述进水口和所述出水口临近设置在所述外电极杆的同侧。
5.如权利要求3所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述杆部与所述端部焊接连接。
6.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述可拆卸连接为螺纹连接。
7.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述外电极杆上还固定设置有用于连接电缆的铜块。
8.一种真空炉，其特征在于，配置有如权利要求1-7任一项所述的微型水冷可调整电极；所述微型水冷可调整电极的电极座焊接在所述真空炉的壳体上。
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