[实用新型]一种新型真空镀膜机有效
申请号: | 201820205330.8 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN208008880U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 黄正勇;周文忠;黄国辉;黄建朝;吴迪 | 申请(专利权)人: | 东莞市宝钛涂层科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 环形卡槽 真空罩 本实用新型 等距离安装 环形固定板 新型真空 安装孔 镀膜机 转轴 密封 电机 真空镀膜技术 真空抽气泵 底部连接 顶部边缘 工作效率 环形卡块 中心安装 中心固定 固定盘 输出轴 蒸发槽 吊耳 镀膜 轴承 保证 | ||
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是一种新型真空镀膜机,包括底板和真空罩,所述底板的中心开设有安装孔,所述安装孔内安装有轴承,所述底板的下部安装有电机,所述电机的输出轴与转轴的底部连接,所述转轴的上部等距离安装有至少四层固定盘,所述环形蒸发槽远离底板的一侧固定安装有环形固定板,所述环形固定板的上部中心固定安装有环形卡块,所述真空罩的顶部边缘等距离安装有三个吊耳,所述真空罩的上部中心安装有真空抽气泵,所述环形卡槽内设置有密封块,所述环形卡槽插设在环形卡槽内,且环形卡槽的上部与密封块连接,本实用新型结构简单,使用方便,适用性强,能够保证镀膜均匀,有效的提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种新型真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,但现有的真空镀膜机,不方便使用,其设备通用性不强,尤其当零件同时双面镀膜或镀多层膜时,加工效率低,能源消耗大,镀膜不均匀等。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在不方便使用、镀膜不均匀等缺点,而提出的一种新型真空镀膜机。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
设计一种新型真空镀膜机,包括底板和真空罩,所述底板的中心开设有安装孔,所述安装孔内安装有轴承,所述轴承内插设有转轴,所述底板的下部安装有电机,所述电机的输出轴与转轴的底部连接,所述转轴的上部等距离安装有至少四层固定盘,所述固定盘上等距离开设有夹持槽,所述底板的四周安装有环形蒸发槽,所述环形蒸发槽内安装有环形加热器,所述环形蒸发槽内的底部安装有支架,所述环形蒸发槽远离底板的一侧固定安装有环形固定板,所述环形固定板的上部中心固定安装有环形卡块;
所述真空罩的顶部边缘等距离安装有三个吊耳,所述真空罩的上部中心安装有真空抽气泵,所述真空抽气泵的吸气口与真空罩的内部连接,所述真空罩的底部边缘开设有环形卡槽,所述环形卡槽内设置有密封块,所述环形卡槽插设在环形卡槽内,且环形卡槽的上部与密封块连接。
优选的,所述夹持槽的两侧均设置有夹紧绷带,两根所述夹紧绷带远离夹紧绷带的一端连接。
优选的,所述环形卡块与环形固定板为一体成型结构,所述环形蒸发槽与环形固定板焊接连接。
优选的,所述安装孔靠近轴承的两侧均安装有密封圈。
优选的,所述密封块为橡胶密封块。
本实用新型提出的一种新型真空镀膜机,有益效果在于:通过在真空罩的上部安装吊耳,方便打开,便于使用,通过在固定盘上开设夹持槽,在夹持槽内安装夹紧绷带,能够适用不同工件镀膜使用,适用性强,镀膜时利用电机驱动固定盘旋转,能够保证镀膜均匀,提高镀膜效果,本实用新型结构简单,使用方便,适用性强,能够保证镀膜均匀,有效的提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种新型真空镀膜机的结构示意图。
图中:吊耳1、真空罩2、密封块3、环形卡槽4、环形卡块5、环形固定板6、环形蒸发槽7、底板8、电机9、轴承10、支架11、环形加热器12、转轴13、固定盘14、夹持槽15、真空抽气泵16。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
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