[实用新型]大口径反射光学系统中间像面检测装置有效
| 申请号： | 201820165647.3 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN208012836U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 庞志海;樊学武;邹刚毅;马臻 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射光学系统 大口径 中间像面 次镜 检测装置 干涉仪 平面镜 衍射 主镜 本实用新型 光学系统 一次像面 组合状态 正前方 干涉 视场 装调 成像 检测 | ||
1.一种大口径反射光学系统中间像面检测装置，其特征在于：
包括干涉自准平面镜、干涉仪以及衍射平板；
所述干涉自准平面镜设置在待测大口径反射光学系统次镜的正前方，干涉仪设置在待测大口径反射光学系统主镜的正后方，所述衍射平板设置在待测大口径反射光学系统主镜和次镜形成的中间像面与次镜之间；
衍射平板设置有补偿衍射区域、第一对准区域以及第二对准区域；所述补偿衍射区域为N个；第一个补偿衍射区域设置在衍射平板的中点，其余N-1个补偿衍射区域沿着衍射平板的径向方向依次排列；第一对准区域为2N个，N≥1；每一个补偿衍射区域对应两个第一对准区域，两个第一对准区域分别位于补偿衍射区域的左右两侧且补偿衍射区域的口径与每一个第一对准区域的口径相同；
补偿衍射区域、第二对准区域为透射形式的非对称衍射面，第一对准区域为反射形式非对称衍射面；
所述补偿衍射区域相位参数引入的像差系数使中间像面对应视场完整成像；第一对准区域用于对准衍射平板和干涉仪；第二对准区域用于对准衍射平板和次镜。
2.根据权利要求1所述的大口径反射光学系统中间像面检测装置，其特征在于：还包括五轴调节架以及干涉仪调整架；其中，一台五轴调节架上安装衍射平板和干涉仪调整架，干涉仪调整架上安装干涉仪。
3.根据权利要求2所述的大口径反射光学系统中间像面检测装置，其特征在于：所述衍射平板采用融石英制成。
4.根据权利要求3所述的大口径反射光学系统中间像面检测装置，其特征在于：所述补偿衍射区域、第一对准区域均为圆形；第二对准区域为长方形。
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