[实用新型]设置中间反射层的单晶炉

说明书

一种设置中间反射层的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层、中间反射层，所述中间反射层设置在加热器与保温层之间，中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面，以对加热器散发的热量进行反射，中间反射层的顶部高于加热器的顶部，中间反射层的底部低于加热器的底部，以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失，中间反射层为中钼筒，本实用新型中，采用中间反射层将加热器与保温层隔离，不仅将大量的热量反射至坩埚内，热量使用充分，而且避免了保温层挥发物对晶棒及加热器的影响。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种设置中间反射层的单晶炉。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有的单晶炉内，为了给加热器保温，避免热量沿着炉体外筒传导散热，通常在炉筒侧壁内侧设置保温层，保温层包围在加热器外面，以起到保温隔热的作用，但是这种方式中，不仅保温效果不好，而且，保温层通常为碳毡，碳毡属于黑色材料，不仅容易吸热，而且，挥发物多，形成杂质存在于热场中，造成对熔池或晶棒的影响。

实用新型内容

有必要提出一种设置中间反射层的单晶炉。

一种设置中间反射层的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，上保温层设置在热屏组件与中炉筒之间，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热屏组件包括内导流筒、外导流筒、保温填充层、支撑环、压环，内导流筒为上口大、下口小的锥形筒，外导流筒为圆柱形筒，外导流筒的顶部向外翻折形成外檐，外导流筒的底部向内翻折形成内缘，内导流筒的底部卡合在外导流筒的内缘上，保温填充层填充在内导流筒和外导流筒之间，在外导流筒的外檐上方也填充保温填充层，外檐上方的保温填充层与中炉筒内的上保温层连接，压环为环形板，压环压在外檐上方的保温填充层上，压环的内沿与内导流筒的上口接触，压环的外沿与外导流筒的外檐的边缘对齐，支撑环为环形板，支撑环设置在外导流筒的外檐的下方，支撑环的边缘与中炉筒的内部固定连接，以安放热屏组件，内导流筒、外导流筒、支撑环、压环同轴设置，所述热场还包括中间反射层，所述中间反射层设置在加热器与保温层之间，中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面，以对加热器散发的热量进行反射，中间反射层的顶部高于加热器的顶部，中间反射层的底部低于加热器的底部，以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失，中间反射层为中钼筒。

优选的，所述内导流筒为金属钼制成，外导流筒为石墨材质制成，保温填充层为石墨碳毡。

优选的，还在外导流筒与中保温层之间设置隔离内筒，隔离内筒的上端与支撑环接触，隔离内筒的下端与中间反射层的上端接触，以将中保温层与热场隔离，避免石墨材料制成的中保温层的挥发物进入热场内与晶棒直接接触。

优选的，中钼筒为钼材料制备而成。

本实用新型中，采用中间反射层将加热器与保温层隔离，不仅将大量的热量反射至坩埚内，热量使用充分，而且避免了保温层挥发物对晶棒及加热器的影响。

附图说明

图1为单晶炉的结构示意图。

图2为所述炉体的结构示意图。