[实用新型]真空镀膜机有效
申请号: | 201820146490.X | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN208151468U | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 黄启泰;倪颖;任建锋;王毅 | 申请(专利权)人: | 苏州六三二八光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 黄胡生 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 移动块 釜体 转动轴 真空镀膜机 夹块 导向筒 夹具 本实用新型 闭合 镀膜机 中空状 侧壁 齿合 夹持 铰接 贯穿 | ||
本实用新型提供一种真空镀膜机,具体涉及真空镀膜机领域,镀膜机本体包括第一釜体和第二釜体,第一釜体和第二釜体的一端铰接,第一釜体和第二釜体的另一端两侧通过夹具相接,夹具包括中空状的导向筒和转动轴,转动轴贯穿导向筒的侧壁;导向筒内还设有第一移动块和第二移动块,第一移动块和第二移动块设于转动轴的两侧,转动轴均与第一移动块和第二移动块齿合;第一移动块远离转动轴的一端设有第一夹块,第二移动块远离转动轴的一端设有第二夹块;第一釜体和第二釜体的端部设于第一夹块和第二夹块之间。本实用新型不仅夹持牢靠,可方便的将真空镀膜机闭合。
技术领域
本实用新型属于真空镀膜机领域,具体涉及一种真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜;现有的真空镀膜机普遍为可开合式的釜体,在镀膜时需将釜体闭合,现一般通过夹具将镀膜机边缘夹紧,以确保镀膜机闭合;但现有的夹具手部可操作空间小,操作不便;
针对上述不足,现需求一种真空镀膜机,可方便的将真空镀膜机闭合。
实用新型内容
本实用新型的目的提供一种真空镀膜机,可方便的将真空镀膜机闭合。
本实用新型提供了如下的技术方案:
真空镀膜机,包括镀膜机本体,所述镀膜机本体包括第一釜体和第二釜体,所述第一釜体和所述第二釜体的一端铰接,所述第一釜体和所述第二釜体的另一端两侧通过夹具相接,所述夹具包括中空状的导向筒和转动轴,所述转动轴贯穿所述导向筒的侧壁;
所述导向筒内还设有第一移动块和第二移动块,所述第一移动块和所述第二移动块设于所述转动轴的两侧,所述转动轴均与所述第一移动块和所述第二移动块齿合;所述第一移动块远离所述转动轴的一端设有第一夹块,所述第二移动块远离所述转动轴的一端设有第二夹块;
所述第一釜体和所述第二釜体的端部设于所述第一夹块和所述第二夹块之间;
优选的,所述转动轴的顶端还设有手轮;
优选的,所述转动轴与所述手轮一体成型;
优选的,所述第一夹块和所述第一移动块、所述第二夹块和所述第二移动块均为一体成型。
本实用新型的有益效果:
本实用新型转动轴的中轴线与釜体的切点径向平行,手部的操作空间充裕,可提高镀膜机闭合的便捷度。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1为本实用新型俯视图;
图2为本实用新型剖视图。
图中标记为:1、镀膜机本体;11、第一釜体;12、第二釜体;2、转动轴;3、手轮;4、第一移动块;5、第二移动块;6、第一夹块;7、第二夹块;8、导向筒。
具体实施方式
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