[实用新型]一种高精密XYθ对位硬件平台

说明书

本实用新型公开了一种高精密XYθ对位硬件平台，包括工作台、基座、滚珠丝杠副、XYθ单体和马达，所述滚珠丝杠副包括滚珠丝杠和螺母座，所述滚珠丝杠与马达连接，马达固定于基座上，马达、XYθ单体和滚珠丝杠副共有四组，所述XYθ单体固定安装于螺母座正上方，工作台与XYθ单体连接。马达驱动滚珠丝杠转动，使工作台对位，XYθ单体位于螺母座正上方，无中间连接件，丝杠副传动精度不受影响，且丝杆副在XYθ单体正下方施力，丝杆副施力点在运动体平面几何中心，因而受力均匀，不会产生不必要的转矩。

技术领域

本实用新型涉及高精密贴合、对位相关技术领域，具体是一种高精密XYθ对位硬件平台。

背景技术

在各种液晶面板制造、检查设备、半导体制造、检查设置、网印设备或印刷电路板制造、检查设备中，必须使用对位平台进行对位移动等程序，而为了提高精密度，除X轴、Y轴的移动外，除以伸缩元件达成XY轴的移动外，更应具备θ角移动功能，方能达成高精密度的要求。

现有的XYθ平台结构特点为：丝杆副与单体ＸＹθ水平依次排列，丝杆与Ｘ方向轨道连接，侧边推动结构件，其缺点在于：丝杆副施力点与运动体之间距离长，为连杆结构，会产生不必要的转矩，丝杆副精度传动会受中间连接件的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高精密XYθ对位硬件平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种高精密XYθ对位硬件平台，包括工作台、基座、滚珠丝杠副、XYθ单体和马达，所述滚珠丝杠副包括滚珠丝杠和螺母座，所述滚珠丝杠与马达连接，马达固定于基座上，马达、XYθ 单体和滚珠丝杠副共有四组，所述XYθ单体固定安装于螺母座正上方，工作台与XYθ单体连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：马达驱动滚珠丝杠转动，使工作台对位，XYθ单体位于螺母座正上方，无中间连接件，丝杠副传动精度不受影响，且丝杆副在XYθ单体正下方施力，丝杆副施力点在运动体平面几何中心，因而受力均匀，不会产生不必要的转矩。

附图说明

图1为一种高精密XYθ对位硬件平台的结构示意图。

图2为一种高精密XYθ对位硬件平台的主视结构示意图。

图3为一种高精密XYθ对位硬件平台的左视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种高精密XYθ对位硬件平台，包括工作台1、基座6、滚珠丝杠副、XYθ单体3和马达2，所述滚珠丝杠副包括滚珠丝杠5和螺母座4，所述滚珠丝杠5与马达2连接，马达2固定于基座6上，马达2、XYθ 单体3和滚珠丝杠副共有四组，所述XYθ单体3固定安装于螺母座4正上方，工作台1与XYθ单体3连接，马达2驱动滚珠丝杠5转动，使工作台1对位，XYθ单体3位于螺母座4正上方，无中间连接件，丝杠副传动精度不受影响，且丝杆副在XYθ单体3正下方施力，丝杆副施力点在运动体平面几何中心，因而受力均匀，不会产生不必要的转矩。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。