[实用新型]硅片清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括底座盘，所述底座盘的底部固定安装有回收箱，所述底座盘的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱，所述支撑柱的顶部焊接有顶板，所述顶板上转动安装有竖直设置的转动轴，所述转动轴的底部延伸至顶板的下方固定连接有U形架，所述顶板的顶部固定安装有电机，电机的输出轴和转动轴上均套设有皮带轮，皮带轮上设有皮带，U形架上滑动安装有多个夹持板，所述U形架上套设有多个弹簧，弹簧位于夹持板之间，所述夹持板上开设有夹持槽，底座盘的顶部转动安装有承重柱，所述承重柱的顶部与夹持板固定连接。本实用新型实现了硅片的批量清洗，清洗效果好，清洗效率高，同时节约水资源，使用方便，易于推广。

技术领域

本实用新型涉及硅片技术领域，尤其涉及一种硅片清洗装置。

背景技术

在硅片生产加工过程中，会对硅片进行清洗，由于硅片为片状，在清洗的时候需要人为翻转硅片，才能得到全方位的清洗，现有的清洗效率低下，同时在清洗的时候对睡因此，需要一种硅片清洗装置来解决以上问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

硅片清洗装置，包括底座盘，所述底座盘的底部固定安装有回收箱，所述底座盘的顶部固定安装有两个竖直设置的支撑柱，所述支撑柱的顶部焊接有顶板，所述顶板上转动安装有竖直设置的转动轴，所述转动轴的底部延伸至顶板的下方固定连接有U形架，所述顶板的顶部固定安装有电机，电机的输出轴和转动轴上均套设有皮带轮，皮带轮上设有皮带，所述U形架上滑动安装有多个夹持板，所述U形架上套设有多个弹簧，弹簧位于夹持板之间，所述夹持板上开设有夹持槽，所述底座盘的顶部转动安装有承重柱，所述承重柱的顶部与夹持板固定连接，所述支撑柱上设有放置腔，放置腔内固定安装有分流管，所述分流管上设有喷水装置，所述U形架上设有气缸，气缸的活塞杆与夹持板固定连接。

优选的，所述回收箱内设有水平设置的过滤网，底座盘上开设有多个流通孔，流通孔位于回收箱的正上方，回收箱的一侧固定连接有出水管，出水管的水平高度高于过滤网的水平高度。

优选的，所述喷水装置由支管和喷头组成，支管与分流管固定连接，支管的一端延伸至支撑柱的外部与喷头固定连接，支撑柱的一侧设有进水管，进水管与分流管的顶部连通。

优选的，所述底座盘和顶板上均固定安装有轴承，两个轴承分别套设于转动轴和承重柱上。

优选的，所述夹持槽为多个，多个夹持槽等距离对称设置于夹持板的顶部与底部。

本实用新型的有益效果是：通过气缸推动夹持板之间相互靠近，把硅片卡在两个夹持槽之间，实现硅片的夹持固定，通过喷水装置对硅片进行冲洗，在冲洗的过程中，电机带动U形架转动，带动硅片转动，保证硅片的全方位清洗，清洗效果好，批量清洗，清洗效率高，清洗完的水可以被重新利用，节约水资源。本实用新型实现了硅片的批量清洗，清洗效果好，清洗效率高，同时节约水资源，使用方便，易于推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的硅片清洗装置的结构示意图；

图2为支撑柱的剖视结构示意图。

图中：1底座盘、2回收箱、3支撑柱、4顶板、5转动轴、6电机、7皮带轮、8皮带、9U形架、10夹持板、11弹簧、12夹持槽、13承重柱、14气缸、15放置腔、16分流管、17喷水装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。