[实用新型]自动补液的恒温水槽装置

说明书

本实用新型提供一种自动补液的恒温水槽装置，包括本体和端盖，所述本体上设有上端具有开口的用于盛水的空腔，所述端盖与所述空腔上端开口配合，所述端盖上设有多个用于固定源瓶的通孔，所述通孔与所述源瓶侧壁上侧配合。本实用新型提供的一种自动补液的恒温水槽装置，采用本体空腔上设置端盖以固定源瓶，安全性高。

技术领域

本实用新型涉及光电技术领域，特别是涉及太阳能电池片生产过程中的一种自动补液的恒温水槽装置。

背景技术

在太阳能电池片生产过程中，需要将P型衬底硅片表面通过高温扩散方式形成一薄层N型层，从而形成太阳能电池所必须的PN结。目前行业内普遍采用的是气体携带液态磷源扩散的方法。具体地，将液态磷源通过氮气携带到扩散石英炉管中，携带的液态磷源的量受气体流量和液态磷源温度的影响，为了保障工艺的稳定性，液态磷源一般需要放置在恒温装置中，以保证一定流量的氮气携带的液态磷源的量一定。

在生产过程中一般采用恒温槽设备来保证液态磷源恒温，其基本结构为一个长方体水槽，将多个液态磷源源瓶直接放置在水槽中，通过循环加热的方式，使水槽中的水温保持不变，从而使源瓶内的液态磷源保持恒温。目前普遍采用的液态磷源为三氯氧磷液态源，三氯氧磷有毒，易挥发，很容易发生水解。由于多个液体磷源源瓶直接放置在水槽中，相互之间很容易碰撞到，一旦由于碰撞或源瓶本身使用寿命而导致源瓶泄漏，源瓶内的三氯氧磷与水接触，发生水解很容易发生危险，并且随着源瓶在使用的过程中三氯氧磷量不断减少，源瓶以及三氯氧磷的总重量小于水的浮力，使源瓶漂浮起来，导致液态磷源温度不稳定，另外由于源瓶漂浮会使其倾斜，从而影响气体携带液态磷源的量，进一步影响工艺稳定；此外，由于恒温槽中的水直接与外界接触，容易挥发，杂质容易掉入水中，造成恒温槽故障，影响恒温槽使用寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中源瓶在恒温水槽中位置未固定的不足，本实用新型提供一种自动补液的恒温水槽装置。

本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种自动补液的恒温水槽装置，包括本体和端盖，所述本体上设有上端具有开口的用于盛水的空腔，所述端盖与所述空腔上端开口配合，所述端盖上设有多个用于固定源瓶的通孔，所述通孔与所述源瓶侧壁上侧配合。

本体用于将多个液态磷源源瓶放置在空腔中，通过循环加热的方式，使水槽中的水温保持不变，从而使源瓶内的液态磷源保持恒温，端盖上设置通孔用于固定源瓶侧壁，防止源瓶之间相互碰撞而导致源瓶泄漏，安全性高。

进一步，因为手动给空腔内加水不方便不准确，还包括自动补液装置，所述自动补液装置包括上限位传感器、下限位传感器、浮球和补液组件，所述浮球浮在所述空腔内的水面上，所述上限位传感器和下限位传感器从上向下间隔设于所述空腔侧壁上用于感应所述浮球在水中的高度，所述上限位传感器和下限位传感器均与所述补液组件信号连接。

在空腔内增加一个上限位和下限位的传感器，当水低于下限位时，即下限位传感器感应不到浮球时，补液组件开始自动补液；当水至上限位时，即上限位传感器感应到浮球时补液组件停止补液。优势在于补液速度快、效率高、使用方便。

进一步，为了实现向空腔内自动补液，所述补液组件包括水泵、水箱和控制器，所述水泵输入端与所述水箱连通，所述水泵输出端与所述空腔连通，所述上限位传感器和下限位传感器均与所述控制器信号连接，所述水泵与所述控制器电连接。当水低于下限位时，即下限位传感器感应不到浮球时，下限位传感器向控制器传递信号，控制器控制水泵工作，水泵从水箱中抽水注入空腔内开始自动补液；当水至上限位时，即上限位传感器感应到浮球时水泵停止补液，上限位传感器向控制器传递信号，控制器控制水泵停止工作，水泵停止向空腔内注水。

进一步，为了方便工作人员测量空腔内水位高度，所述端盖上还设有测液孔。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种自动补液的恒温水槽装置，采用本体空腔上设置端盖以固定源瓶，安全性高。