[实用新型]一种具有新型延时系统的数字全息显微系统

说明书

本实用新型公开了一种具有新型延时系统的数字全息显微系统，本实用新型所采用的技术方案是包括棱镜延时反射式数字全息显微镜光路和棱镜延时透射式数字全息显微镜光路；棱镜延时反射式数字全息显微镜光路中，光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波，其中一束经过二分之一波片和透镜后入射相机、另一束经过透镜和样品表面反射后入射相机，相干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后，传输入计算机，进行数字重建；本实用新型的有益效果是系统更容易调整和达到较高精度。

技术领域

本实用新型属于显微技术领域，涉及一种具有新型延时系统的数字全息显微系统。

背景技术

现有反射式数字全息显微镜的延时系统为使用两个垂直反射镜组合的方式延时，通过调整两个反射镜的位置来匹配参考光与物光的光程差，从而达到实现干涉成像的目标。此系统需要精确控制两面反射镜互相垂直，并且需要同时移动两面反射镜来达到改变光程的目的，调节困难且要求精度较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有新型延时系统的数字全息显微系统，本实用新型的有益效果是系统更容易调整和达到较高精度。

本实用新型所采用的技术方案是包括棱镜延时反射式数字全息显微镜光路和棱镜延时透射式数字全息显微镜光路；

棱镜延时反射式数字全息显微镜光路中，光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波，其中一束经过第一反射镜反射后依次经过第一透镜、非偏振分光棱镜和物镜后平行出射于样品表面，样品反射光经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束；另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束，此路光穿过第二二分之一波片经棱镜将光束180度反转后，依次经过第二透镜会聚、第二反射镜反射、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射相机，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后，传输入计算机，进行数字重建；

所述棱镜延时透射式数字全息显微镜光路中，光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波；其中透射光束作为物光束，其经过第一反射镜反射后依次经过第一透镜、照射于样品表面，由物镜收集后，经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束,另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束，此路光穿过第二二分之一波片经棱镜将光束180度反折后，依次经过第二透镜会聚、第二反射镜反射、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射相机，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后，传输入计算机，进行数字重建。

进一步，由于物光光束和参考光光束需要扩束到合适尺寸进行干涉，选用扩束镜将所述偏振分光棱镜的入射光斑和出射光斑进行扩束。

进一步，光源为线偏振光源。

进一步，相机包括面阵彩色相机、线阵彩色相机、面阵黑白相机和线阵黑白相机,相机传感器类型包括CCD和CMOS。

进一步，第二二分之一波片放置于物路光束或者参考路光束。

进一步，第二反射镜角度和位置可变。

进一步，第一扩束镜、第二扩束镜、第三扩束镜有以下几种安装方式：

a)只安装第一扩束镜；

b)只安装其中任意两个；

c)三个扩束镜全部安装。

附图说明

图1是反射式数字全息显微系统、棱镜延时结构示意图；

图2是透射式数字全息显微系统、棱镜延时结构示意图。