[实用新型]激光腔室及放电激励式气体激光器

说明书

本实用新型提供一种激光腔室及放电激励式气体激光器。其中，多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下，这样，即使在组装激光腔室时将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的安装，也能够使得预电离电极和主放电电极适当地进行放电，保证了激光器的性能。另外，容易进行存放预电离电容器和调峰电容器时的管理。

技术领域

本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种激光腔室及放电激励式气体激光器。

背景技术

在放电激励式气体激光装置中，激光腔室是主要的部件之一。激光腔室一般具有一对预电离电极以及一对预电离电容器、多个调峰电容器以及一对主放电电极，其中，一对预电离电容器与一对预电离电极分别电连接，一对主放电电极中的一个电极与多个调峰电容器连接。

例如，专利文献1(JP2003-249703A)公开了类似的结构。

应当注意，上面对背景技术的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

本实用新型的发明人发现：在组装激光腔室时，存在将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的错误安装的可能，当预电离电容器与调峰电容器的电容值不同时，可能导致预电离电极和主放电电极无法适当地进行放电，从而影响激光器的性能。另外，在存放预电离电容器和调峰电容器以用于更换时，需要分开进行管理。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室和放电激励式气体激光器，其中，多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下，这样，即使在组装激光腔室时将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的安装，也能够使得预电离电极和主放电电极适当地进行放电，保证了激光器的性能。另外，容易进行存放预电离电容器和调峰电容器时的管理。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室，所述激光腔室包括：一对预电离电极；至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在所述规定电容值的10％以下。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述预电离电容器的电容值为100pF～250pF。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述多个调峰电容器的电容值为100pF～250pF。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述预电离电容器和所述多个调峰电容器是平行配置的。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述预电离电容器和所述多个调峰电容器具有相同的直径和长度。

根据本实用新型实施例的第七方面，提供一种放电激励式气体激光器，其具有激光腔室和电源，所述激光腔室具有：一对预电离电极；至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处，所述电源与所述预电离电容器和所述多个调峰电容器电连接。