[实用新型]激光腔室及放电激励式气体激光器有效
| 申请号： | 201820060219.4 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN207753291U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 都丸仁;奈良久 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;王锴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容器 调峰 激光腔 预电离 放电 气体激光器 电容 本实用新型 预电离电极 主放电电极 激光器 调换 组装 保证 管理 | ||
1.一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述激光腔室具有：
一对预电离电极；
至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；
多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；
第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及
第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处。
2.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在所述规定电容值的10％以下。
3.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述预电离电容器的电容值为100pF～250pF。
4.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述多个调峰电容器的电容值为100pF～250pF。
5.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述预电离电容器和所述多个调峰电容器是平行配置的。
6.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述预电离电容器和所述多个调峰电容器具有相同的直径和长度。
7.一种放电激励式气体激光器，其具有激光腔室和电源，其特征在于，
所述激光腔室具有：
一对预电离电极；
至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；
多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；
第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及
第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处，
所述电源与所述预电离电容器和所述多个调峰电容器电连接。
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