[实用新型]一种用于低温真空泵的冷伞

说明书

本实用新型公开了一种用于低温真空泵的冷伞，其包括中心柱与冷伞冷板，所述中心柱为圆柱形，所述冷伞冷板均匀分布在中心柱四周，所述冷伞冷板上均匀分布弧形铜片，所述弧形铜片上表面与下表面均粘接活性碳。本实用新型的一种低温真空泵的冷伞，通过将活性炭粘接在弧形铜片上，可以实现弧形铜片的每个面都附着活性炭，避免了活性炭直接粘接在冷板上导致接触面小，吸附气体的效率底，活性碳粘接在弧形铜片上，增大了活性炭吸附气体的面积，有效的增加气体的吸附效率，从而进一步提高低温真空泵内的真空度。

技术领域

本实用新型属于低温真空泵领域，具体涉及一种用于低温真空泵的冷伞。

技术背景

低温真空泵一般简称为低温泵或者冷泵，低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附:气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。在低温泵中，一级冷板一般由辐射屏和一级挡板组成，同制冷机的一级冷头相连；冷伞与制冷机二级冷头相接，通常工作在 10K~20K 之间，冷伞的外表面是冷凝抽气，用于抽除 N2、O2、Ar 等可凝性气体，而对 He、Ne、H2等非凝性气体进行预冷；粘接活性炭的内侧主要以低温吸附的方式抽除 He、Ne、H2。由于活性炭直接粘接在冷伞上的接触面积较大，造成粘接的接触面不能吸附气体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种吸附效率高的用于低温真空泵的冷伞。

本实用新型的技术方案是一种用于低温真空泵的冷伞，其包括中心柱与冷伞冷板，所述中心柱为圆柱形，所述冷伞冷板均匀分布在中心柱四周，其特征在于，所述冷伞冷板上均匀分布弧形铜片，所述弧形铜片上表面与下表面均粘接活性碳。

本实用新型进一步改进在于，所述弧形铜片固定在一块铜板上。

本实用新型进一步改进在于，所述铜板的大小与冷伞冷板大小一样，通过螺栓固定在冷伞冷板上。

本实用新型进一步改进在于，所述弧形铜片交错分布，弧形铜片的宽为10-15mm，长度为20-30mm，相邻弧形铜片间的距离为15-30mm。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的一种低温真空泵的冷伞，通过将活性炭粘接在弧形铜片上，可以实现弧形铜片的每个面都附着活性炭，避免了活性炭直接粘接在冷板上导致接触面小，吸附气体的效率底，活性碳粘接在弧形铜片上，增大了活性炭吸附气体的面积，有效的增加气体的吸附效率，从而进一步提高低温真空泵内的真空度。

附图说明

图1为本实用新型的一种低温真空泵的冷伞的结构示意图；

图2为本实用新型的一种低温真空泵的冷伞的冷伞冷板结构示意图。

其中，1、中心柱，2、冷伞冷板，3、弧形铜片，4、铜板，5、螺栓固定。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型方案，现结合具体实施方式对本实用新型技术方案作进一步具体说明。