[发明专利]一种复合精密清洗工艺

权利要求书

1.一种复合精密清洗工艺，其特征在于，依次包括水基清洗、负压脱水、压差除去脱水剂、真空碳氢清洗和真空干燥；

所述的压差除去脱水剂是指在负压状态下，通过气体破空压差产生的强大气流交替将工件表层上残留的脱水溶剂脱除；

压差除去脱水剂时最大负压为-100～-101.3kPa；

压差除去脱水剂在压差除液槽内进行，所述压差除液槽包括除液槽体和盖板，所述除液槽体上设置有真空泵和破空阀，除液槽体内设置有气体管路，所述气体管路上设置有若干喷嘴。

2.如权利要求1所述的复合精密清洗工艺，其特征在于，所述除液槽体内设置有用于将工件转动的旋转机构。

3.如权利要求1所述的复合精密清洗工艺，其特征在于，所述水基清洗包括超声波清洗和槽喷淋清洗，所述超声波清洗的清洗温度为45～60℃，加入清洗剂后清洗4～8分钟；所述槽喷淋清洗时的温度为45～60℃，在自来水下清洗4～8分钟。

4.如权利要求1所述的复合精密清洗工艺，其特征在于，负压脱水的工作温度为20～35℃，负压的真空度为-60～-90kPa，脱水处理4～8分钟。

5.如权利要求1所述的复合精密清洗工艺，其特征在于，所述的真空碳氢清洗的工作温度为30℃～40℃，真空度为-75～-90kPa，每次清洗4～8分钟，清洗1～4次。

6.如权利要求1所述的复合精密清洗工艺，其特征在于，压差除去脱水剂时可破空次数1次或多次。