[发明专利]一种缺陷检测方法及系统

权利要求书

1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1：对产品的待测位置进行彩色图像和黑白图像的采集，同步采集所述待测位置的所述彩色图像和所述黑白图像，使黑白图像元数据和彩色图像元数据位置一一对应；

步骤S2：对所述黑白图像进行缺陷分析处理；

步骤S3：当所述产品在待测位置存在缺陷时，则保留同步获取的彩色图像，当所述产品在待测位置不存在缺陷时，则丢弃同步获取的彩色图像。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤S3之后还包括：

步骤S4：重复执行步骤S1至步骤S3的操作，至采集结束。

3.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤S1中，通过图像采集部件采集产品待测位置的彩色图像和黑白图像；所述图像采集部件包括：物镜，用于采集产品返回的信号光；分光装置，用于将所述信号光分为第一信号光和第二信号光；黑白图像传感器，用于接受所述第一信号光，形成黑白图像；彩色图像传感器，用于接受所述第二信号光，形成彩色图像。

4.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤S1中，采用黑白相机采集产品待测位置的黑白图像，采用彩色相机采集产品待测位置的彩色图像。

5.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，在所述步骤S1中，在对所述彩色图像和所述黑白图像进行采集之前，还包括步骤：向产品提供光照。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述产品为晶圆。

7.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括用于采集产品待测位置的黑白图像和彩色图像的图像采集模块，用于对所述黑白图像进行缺陷分析的缺陷分析模块，用于根据所述缺陷分析模块的分析结果判断是否需要保留或丢弃同步获取的彩色图像的缺陷同步拍照模块；所述图像采集模块用于同步采集所述待测位置的所述彩色图像和所述黑白图像，使黑白图像元数据和彩色图像元数据一一对应；且所述缺陷同步拍照模块用于：当采集到的原始图像数据经由缺陷分析模块处理分析后，当有缺陷存在时则保留该黑白图像对应的彩色图像数据，当不存在缺陷时则将黑白图像对应的彩色图像数据作为垃圾数据丢弃。

8.根据权利要求7所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括用于采集产品待测位置的黑白图像的黑白相机以及用于采集产品待测位置的彩色图像的彩色相机。

9.根据权利要求7所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括：物镜，用于采集产品返回的信号光；分光装置，用于将所述信号光分为第一信号光和第二信号光；黑白图像传感器，用于接受所述第一信号光，形成黑白图像；彩色图像传感器，用于接受所述第二信号光，形成彩色图像。