[发明专利]一种手持式反射共聚焦拉曼光谱检测装置在审
申请号: | 201811624059.2 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN109668869A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 武俊峰;吴一辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;G01N21/01 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 田春梅 |
地址: | 130000 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射 被测样品 物镜 拉曼光谱检测装置 滤波器 反射成像光 拉曼检测 分光镜 共聚焦 拉曼光 前透镜 扫描镜 透射 分色 光路 激光技术领域 四分之一波片 透镜 折转反射镜 可见光 成像聚焦 光谱测量 激光光纤 接入端口 前置透镜 输出端口 样品表面 分辨率 偏振态 分光 共焦 后置 滤波 原光 成像 激光 相机 返回 | ||
1.一种手持式反射共聚焦拉曼光谱检测装置,其特征在于,包括共焦的拉曼检测光路和反射成像光路;
所述拉曼检测光路包括:拉曼光输出端口(1)、激光光纤接入端口(2)、分色滤波器(3)、MEMS扫描镜(6)、折转反射镜(7)、四分之一波片(8)、分光镜(9)、物镜(12)、半球前透镜(16)、前置透镜(18)和后置透镜(19);激光经激光光纤接入端口(2)进入,由分色滤波器(3)滤波反射后,到达MEMS扫描镜(6),经MEMS扫描镜(6)反射后再经由前置透镜(18)透射、折转反射镜(7)反射、后置透镜(19)透射、四分之一波片(8)改变偏振态、分光镜(9)分光后到达物镜(12),经物镜(12)和半球前透镜(16)后到达被测样品(17),从被测样品(17)反射的拉曼光,沿着原光路返回,经分色滤波器(3)进入拉曼光输出端口(1);
所述反射成像光路包括:成像聚焦镜(10)、相机(11)和LED(13);LED(13)照射在被测样品(17)表面,在LED(13)照射下的可见光经半球前透镜(16)、物镜(12)、分光镜(9)和成像聚焦镜(10)到达相机(11),实现样品表面成像。
2.根据权利要求1所述的一种手持式反射共聚焦拉曼光谱检测装置,其特征在于,所述分色滤波器(3)包括两个分色镜(4)和两个滤波片(5);激光光纤接入端口(2)进入的激光经一个滤波片(5)滤波后再经一个分色镜(4)折射至另一个分色镜(4),经另一个分色镜(4)反射进入到MEMS扫描镜(6);从被测样品(17)反射的拉曼光经MEMS扫描镜(6)反射后镜经另一个分色镜(4)透射,再经另一个滤波片(5)滤波后到达拉曼光输出端口(1)。
3.根据权利要求1或2所述的一种手持式反射共聚焦拉曼光谱检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括调焦结构,所述调焦结构包括直线电机(14)以及和所述直线电机(14)连接的调焦架(15),直线电机(14)通过调焦架(15)带动所述物镜(12)往复移动。
4.根据权利要求1所述的一种手持式反射共聚焦拉曼光谱检测装置,其特征在于,拉曼光输出端口(1)和激光光纤接入端口(2)均为光纤接口。
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