[发明专利]一种基于叠层玻璃映射的成像光谱仪有效
申请号: | 201811620916.1 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN109708759B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 周鹏威;胡世传;凃冲;卢田 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 玻璃 映射 成像 光谱仪 | ||
1.一种基于叠层玻璃映射的成像光谱仪,包括中继透镜系统(11)、图像映射器(12)、聚光透镜(13)、色散单元(14)、微透镜阵列(15)、成像传感器(16),其特征在于:图像映射器(12)由超薄玻璃层叠组成,所述的超薄玻璃由三脚研抛器侧抛加工,端面(22)镀有反射膜并且具有二维倾角,图像映射器(12)的反射面具有M*N个不同的倾角;
其中,实现超薄玻璃侧抛的三脚研抛器由壳体(31)、数字倾角仪(32)和螺旋测微器(33)组成,壳体(31)边缘开有三个通孔,通孔位置呈三角形分布,在通孔位置分别安装螺旋测微器(33),壳体(31)上表面安装数字倾角仪(32),壳体(31)下方设置有一侧开有螺纹孔的固定槽(34);中继透镜系统(11)由孔径光阑和中继透镜组成,光学图像通过中继透镜系统(11)成像于图像映射器(12)表面,图像映射器(12)将图像进行分割并反射,反射图像从聚光透镜(13)平行出射经过色散单元(14)色散,最后色散光通过微透镜阵列(15)成像于成像传感器(16)上,得到图像的空间信息和光谱信息。
2.根据权利要求1所述的一种基于叠层玻璃映射的成像光谱仪,其特征在于:所述的图像映射器的制作方法包括:
第一步骤,超薄玻璃层叠,取相同大小的超薄玻璃,彼此平行对齐重叠,用紫外固化胶粘合,在紫外灯光照下固化,在超薄玻璃两侧各粘合一块光学玻璃进行保护,形成超薄玻璃块(21);
第二步骤,研磨抛光,将超薄玻璃块(21)通过紧定螺钉固定安装在三脚研抛器的固定槽(34)上,对超薄玻璃块端面(22)和侧面(23)进行研磨抛光,使端面(22)与水平面成特定角度,侧面(23)相互平行,研磨抛光时选用不同粒度的研磨片,研磨片粒度逐步减小,降低玻璃表面粗糙度;
第三步骤,解胶镀膜,将研磨抛光后的超薄玻璃块放置在超声波清洗机中进行高温水解清洗,将水解后的超薄玻璃重叠进行磁控溅射镀反射膜;
第四步骤,粘合,将超薄玻璃按端面的倾角分组,相同Y倾角不同X倾角为一组进行粘合,得到超薄玻璃组(24),将各组粘合得到图像映射器(12)。
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