[发明专利]一种蒸发镀膜设备、其蒸发源蒸发控制系统和方法

权利要求书

1.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括：

蒸发坩埚(1)，所述蒸发坩埚(1)内设置有用于蒸发的蒸发源；

支架(2)，所述蒸发坩埚(1)放置于所述支架(2)上方，所述支架包括至少两个支撑腿；

加热器层(3)，所述加热器层(3)设置于所述蒸发坩埚(1)的外周；

称重装置(4)，所述称重装置(4)设置于所述支架(2)底部，并测量所述蒸发坩埚(1)内蒸发源的当前重量，且各所述支撑腿分别作为所述称重装置的称重取样点。

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，还包括隔热板(5)，所述隔热板(5)设置于称重装置(4)与所述蒸发坩埚(1)的底部之间。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，还包括冷却层(6)，所述冷却层(6)设置于所述加热器层(3)的外周，且所述冷却层(6)的一端与冷媒连通，另一端与所述隔热板(5)的内腔相连通。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，还包括保温层(7)，所述保温层(7)设置于所述冷却层(6)与加热器层(3)之间。

5.一种蒸发源蒸发控制系统，用于如权利要求1-4任一项所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，包括：

重量检测单元(100)，所述重量检测单元(100)用于根据多个测量点处测量值之间的关系实时获取蒸发源内的剩余原料重量；

蒸发量获取单元(200)，所述蒸发量获取单元(200)用于根据所述重量检测单元(100)检测到的剩余原料重量，以及控制加热的启停信号截取源的工作时间，得到当前蒸发量；

功率控制单元(300)，所述功率控制单元(300)用于将蒸发源的蒸发量分成至少两个百分段位，判断所述蒸发量获取单元(200)所得到的当前蒸发量所处于百分段位，并根据当前蒸发量所在的百分段位对应的调节参量调整加热功率。

6.根据权利要求5所述的蒸发源蒸发控制系统，其特征在于，所述测量值包括各所述称重取样点处的重量值、所述蒸发坩埚的倾斜角度和所述蒸发坩埚的重心位置。

7.根据权利要求6所述的蒸发源蒸发控制系统，其特征在于，还包括故障提示单元，所述故障提示单元用于将所述蒸发坩埚在当前倾斜角度和重心位置状态下的预设重量值与检测到的重量值进行比较，若多次比对下，所检测到的重量值均超出所述预设重量值的阈值范围，则所述故障提示单元发出预警指令。

8.根据权利要求5所述的蒸发源蒸发控制系统，其特征在于，所述调节参量为各百分段位内对应的基础加热给定值与调节参数之和。

9.根据权利要求8所述的蒸发源蒸发控制系统，其特征在于，所述百分段位包括0-20％区段、20％-40％区段、40％-60％区段、60％-80％和80％-100％区段，且所述功率控制单元(300)在判断当前蒸发量所处百分段位时，自低百分段位至高百分段位依次比对。

10.根据权利要求5-9任一项所述的蒸发源蒸发控制系统，其特征在于，还包括温度检测单元(400)，所述温度检测单元(400)用于检测蒸发源的当前温度；

所述蒸发量获取单元(200)还用于将当前温度与基础设定温度相比较，并在当前温度大于或等于基础设定温度时，获取当前蒸发量。

11.一种蒸发源蒸发控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据多个测量点处测量值之间的关系实时获取蒸发源内的剩余原料重量；

S2：根据所述重量检测单元(100)检测到的剩余原料重量，以及控制加热的启停信号截取源的工作时间，得到当前蒸发量；

S3：将蒸发源的蒸发量分成至少两个百分段位，判断所述蒸发量获取单元(200)所得到的当前蒸发量所处的百分段位，并根据当前蒸发量所在的百分段位对应的调节参量调整加热功率。