[发明专利]基座以及蒸镀设备

权利要求书

1.一种基座，应用于蒸镀设备，其特征在于，包括：

基座本体，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板的表面覆有背电极层；

汇流部，沿垂直于基板传动方向分布在所述基座本体的两侧，并与所述基座本体绝缘连接，在执行蒸镀工艺时所述背电极层与所述汇流部相接触；

导电部，与所述汇流部电连接并连接至外部电源，用于在通电时向所述汇流部提供电压。

2.根据权利要求1所述的基座，其特征在于，所述汇流部为汇流条，所述汇流条固定在所述基座本体的承载面。

3.根据权利要求2所述的基座，其特征在于，所述导电部包括导电槽和连接柱，所述导电槽平行于所述汇流条并连接至外部电源，所述连接柱用于将所述导电槽和所述汇流条电连接；

其中，沿所述基座本体所在平面的垂直方向，所述导电槽位于所述待蒸镀基板背离所述基座本体的一侧，所述导电槽在所述基座本体所在平面的投影轮廓位于所述汇流条在所述基座本体所在平面的投影轮廓的外侧。

4.根据权利要求1所述的基座，其特征在于，还包括绝缘部，所述绝缘部位于所述基座本体的承载面，用于使所述基座本体与所述待蒸镀基板相互绝缘，所述绝缘部背离所述基座本体的表面与所述汇流部背离所述基座本体的表面齐平。

5.根据权利要求4所述的基座，其特征在于，所述绝缘部为绝缘条，所述绝缘条与所述汇流部相互垂直。

6.根据权利要求5所述的基座，其特征在于，所述绝缘条包括沿基板传动方向分布在所述基座本体两侧的第一绝缘条和第二绝缘条，以及位于所述基座本体中间的第三绝缘条。

7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀腔室以及权利要求1-6任一项所述的基座。

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括导电组件，所述导电组件与外部电源相连接，用于向所述基座中的导电部提供电压。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述导电组件包括导电滚刷，所述导电滚刷与所述导电部相接触；或者，

所述导电组件包括导电弹性杆，所述导电弹性杆的弹性部与所述导电部相接触；或者，

所述导电组件包括导电极板，所述导电极板与所述导电部相对设置，用于向所述导电部放电。

10.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述外部电源提供的电压在20V～30V范围内。