[发明专利]磁存储单元及SOT-MRAM存储器有效

专利信息
申请号: 201811602786.9 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN111370571B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 杨成成;何世坤 申请(专利权)人: 中电海康集团有限公司;浙江驰拓科技有限公司
主分类号: H01L43/04 分类号: H01L43/04
代理公司: 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 代理人: 赵永刚
地址: 311121 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 存储 单元 sot mram 存储器
【权利要求书】:

1.一种磁存储单元,其特征在于,包括:

底电极,用于提供自旋轨道矩;

磁性隧道结,包括依次堆叠的自由层、隧穿势垒层和参考层,所述自由层靠近所述底电极;

分离层,位于所述磁性隧道结的参考层上并与所述参考层接触;

偏置层,位于所述分离层上并与所述分离层接触,用于提供一个磁矩,所述磁矩的初始方向与所述磁性隧道结的磁化方向平行;

压电层,位于所述偏置层上并与所述偏置层接触;

顶电极,位于所述压电层上并与所述压电层接触,所述顶电极用于在写入数据时接入控制电压,所述压电层用于在所述控制电压的作用下,产生一个使所述偏置层的磁矩改变方向的应力,所述偏置层的磁矩在改变方向后,用于在写入数据时辅助所述自由层翻转。

2.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层,用于在所述控制电压的作用下产生一个使所述偏置层的磁矩发生90度定向翻转的应力。

3.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层产生的应力在去掉所述控制电压后消失。

4.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层的材料为硫化镉、铌镁酸铅-钛酸铅、锆钛酸铅或者钛酸钡。

5.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层的厚度为1~3纳米。

6.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述磁性隧道结为垂直于膜平面磁化或者膜平面内磁化。

7.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述偏置层为单层膜结构或者多层膜结构。

8.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述底电极的材料为重金属、拓扑绝缘体或者反铁磁合金。

9.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述顶电极的材料为钽Ta、铝Al或者铜Cu中的一种。

10.一种SOT-MRAM存储器,其特征在于,所述SOT-MRAM存储器包括如权利要求1-9中任一项所述的磁存储单元。

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