[发明专利]磁存储单元及SOT-MRAM存储器有效
申请号: | 201811602786.9 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111370571B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 杨成成;何世坤 | 申请(专利权)人: | 中电海康集团有限公司;浙江驰拓科技有限公司 |
主分类号: | H01L43/04 | 分类号: | H01L43/04 |
代理公司: | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人: | 赵永刚 |
地址: | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 存储 单元 sot mram 存储器 | ||
1.一种磁存储单元,其特征在于,包括:
底电极,用于提供自旋轨道矩;
磁性隧道结,包括依次堆叠的自由层、隧穿势垒层和参考层,所述自由层靠近所述底电极;
分离层,位于所述磁性隧道结的参考层上并与所述参考层接触;
偏置层,位于所述分离层上并与所述分离层接触,用于提供一个磁矩,所述磁矩的初始方向与所述磁性隧道结的磁化方向平行;
压电层,位于所述偏置层上并与所述偏置层接触;
顶电极,位于所述压电层上并与所述压电层接触,所述顶电极用于在写入数据时接入控制电压,所述压电层用于在所述控制电压的作用下,产生一个使所述偏置层的磁矩改变方向的应力,所述偏置层的磁矩在改变方向后,用于在写入数据时辅助所述自由层翻转。
2.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层,用于在所述控制电压的作用下产生一个使所述偏置层的磁矩发生90度定向翻转的应力。
3.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层产生的应力在去掉所述控制电压后消失。
4.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层的材料为硫化镉、铌镁酸铅-钛酸铅、锆钛酸铅或者钛酸钡。
5.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述压电层的厚度为1~3纳米。
6.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述磁性隧道结为垂直于膜平面磁化或者膜平面内磁化。
7.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述偏置层为单层膜结构或者多层膜结构。
8.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述底电极的材料为重金属、拓扑绝缘体或者反铁磁合金。
9.根据权利要求1所述的磁存储单元,其特征在于,所述顶电极的材料为钽Ta、铝Al或者铜Cu中的一种。
10.一种SOT-MRAM存储器,其特征在于,所述SOT-MRAM存储器包括如权利要求1-9中任一项所述的磁存储单元。
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