[发明专利]应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法在审
| 申请号： | 201811601366.9 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109709023A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 刘红霞;郭昊;郁忠杰;李加;宁尚清 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 半导体领域 氧化钇涂层 喷洗 测试 超声波槽 纯水冲洗 氮气吹干 记录结果 零件表面 零件清洗 使用寿命 放入槽 颗粒物 吹干 擦拭 应用 零部件 组装 达标 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，检测方法主要包括以下几个步骤：
1)将零件用IPA擦拭；
2)纯水喷洗零件；
3)使用热水喷洗零件；
4)放入装有纯水的超声波槽里振；
5)使用纯水冲洗零件；
6)使用氮气吹干零件；
7)LPC测试空白颗粒，超声波槽里纯水及夹具表面的颗粒；
8)LPC测试槽体中零件表面所带的颗粒；
9)检测完后记录结果，将零件清洗、吹干、包装。
2.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，所述步骤1)IPA采用电子级。
3.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，所述步骤2)纯水水源至少18MΩ。
4.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，所述步骤3)热水温度范围在40～50摄氏度，水质至少4MΩ。
5.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，所述步骤4)超声波槽水质至少4MΩ，超声波槽内衬材质为PP。
6.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，所述步骤4)出水口纯水水质4MΩ。
7.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，
所述步骤9)LPC测试颗粒直径范围小于等于0.1um。
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