[发明专利]一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件及其制备方法有效
申请号: | 201811599727.0 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109671873B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 祝树炜;魏斌;严利民;王伟;钱强;叶丛卓 | 申请(专利权)人: | 上海晶合光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 代芳 |
地址: | 200120 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分立 控制 电极 图案 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件的制备方法,包括以下步骤:在ITO导电玻璃上进行ITO模块化刻蚀,在得到的模块化的ITO层上制备金属导电层,得到模块化ITO电极;在所述模块化ITO电极上制备图案化绝缘层,得到图案化电极;然后依次蒸镀有机层和金属电极,得到可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件。本发明在阴阳极之间引入图案化绝缘层,仅对单侧电极进行模块化处理,制备成本低,工艺简单,不需要昂贵的金属掩膜板以及精密的机械贴合工艺,产品良率保持不变,并且可实现镂空图案的电致发光器件的制备。本发明还提供了一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件,其图案精确可靠。
技术领域
本发明属于有机电致发光器件的技术领域,特别涉及一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件及其制备方法。
背景技术
近些年来,有机电致发光器件已经普遍应用于实际生产生活中,尤其是在照明显示领域已然大放异彩,相比较于传统的无机电致发光器件,其制备和应用已成为当今最为活跃的研究领域之一。有机电子器件是以能够导电的有机材料为基础制备的具有特定功能的半导体器件,由于有机电子器件中的有机材料大部分是由碳和氢组成的,用它们来做电子器件具有很多好处,例如易制作、成本低、化学可调、透明易弯曲等。我们利用有机电子器件的这些优点可以将其应用于图案化大面积显示领域,如汽车尾灯、灯牌等。
以往制备图案化器件时通常采用图案化双侧电极的方法,这种方法仅适合于小面积实验室制备,一旦进行大规模工厂生产时,只能通过高昂的金属掩膜板设计才能保证其所需要的精度。这种方法通常将单侧电极做模块化处理以控制发光区域,另一侧电极做图案化处理,以实现图案化发光。但对于复杂图形,这种方法往往不能进行精准的电极对接,可能会暴露出相应的电极引线,使得发光图案的边界模糊,而全程机械贴合工艺难以解决机器磨损带来成品率不断下降的问题;并且这种方法无法制备镂空的发光图形。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件及其制备方法。本发明在阴阳极之间引入图案化绝缘层,仅对单侧电极进行模块化处理,制备成本低,工艺简单,不需要昂贵的金属掩膜板以及精密的机械贴合工艺,并且可实现镂空图案的电致发光器件的制备。
为了实现上述发明目的,本发明提供以下技术方案:
本发明提供了一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件的制备方法,包括以下步骤:
(1)在ITO导电玻璃上进行ITO模块化刻蚀,得到模块化的ITO层;
(2)在所述模块化的ITO层上制备金属导电层,得到模块化ITO电极;
(3)在所述模块化ITO电极上制备图案化绝缘层,得到图案化电极;
(4)在所述图案化电极上蒸镀有机层,所述有机层自下而上依次为空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层;
(5)在所述有机层表面蒸镀金属电极,得到可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件。
优选地,所述步骤(1)中的ITO模块化刻蚀包括以下步骤:
A、在ITO导电玻璃上旋涂光刻胶,进行前烘,得到光刻胶层;
B、在所述光刻胶层上放上模块电极菲林板进行曝光;
C、将曝光后的光刻胶层在显影液中浸泡后,依次进行水洗和后烘,得到模块化光刻胶层;
D、刻蚀曝光区的ITO,然后清洗光刻胶,得到模块化的ITO层。
优选地,所述步骤A中ITO导电玻璃中ITO的厚度为140~160nm;所述步骤A中旋涂光刻胶的速度为900~1100rpm,时间为50~70s,厚度为190~210nm;所述步骤A中前烘的温度为115~135℃,时间为80~100s。
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