[发明专利]电子部件输送装置以及电子部件检查装置

说明书

提供一种电子部件输送装置以及电子部件检查装置，电子部件输送装置具备：输送部，将电子部件输送至检查部，输送部具有第一部件以及第二部件，第一部件具有第一基部、相对于第一基部滑动的第一滑动部、以及由第一基部和第一滑动部划定的第一空间，第二部件具有安装于第一滑动部的第二基部、相对于第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部、以及由第二基部和第二滑动部划定的第二空间；管道部，具有与第二空间连通且向第二空间供给工作流体的流路；流量传感器，配置于流路，检测工作流体的流量；调压部，调整工作流体的压力；以及控制部，使第二滑动部保持电子部件，使第二滑动部将电子部件按压至检查部。

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，已知有对IC封装等电子部件进行测试的测试装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的测试装置具备：推动机，在保持电子部件的状态下，将该电子部件按压至测试用插座；以及压力检测单元，与推动机连结，检测在该推动机将电子部件按压至插座时的压力(按压力)。并且，在专利文献1记载的测试装置中，在对电子部件进行测试时，能够基于压力检测单元的检测结果检测到推动机是否以预定的压力将电子部件按压至插座。

专利文献1：日本特开2003-161758号公报

然而，在专利文献1中记载的测试装置中，例如，由于电子部件的大小(厚度)及形状(弯曲及倾斜的形状)、电子部件载置部(插座)和推动机间的平行性等，电子部件的各焊球的端子与插座的各触针并不限于均匀地接触。并且，各焊球的端子与各触针若非均匀地接触，则有可能无法正确地进行对电子部件的测试。

发明内容

本发明以解决上述的问题为目的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

[应用例1]本实施方式涉及的电子部件输送装置，其特征在于，具备：输送部，所述输送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部和相对于所述第一基部滑动的第一滑动部，所述第二部件具有配置于第一滑动部的可装卸的第二基部和相对于所述第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部；流路，与第二空间连通，并向所述第二空间供给工作流体；流量传感器，设置于所述流路，检测所述工作流体的流量；以及调压部，调整所述工作流体的压力，所述第一部件在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有第一空间，所述第二部件在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有第二空间，用所述第二滑动部保持所述电子部件，并将所述电子部件按压至检查部的探针。

根据本实施例，在检查部进行对电子部件的电气检查时，能够无视电子部件的个体差别，使电子部件的各端子与检查部的各端子均匀地抵接，因此，能够正确地进行该检查。

[应用例2]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述工作流体能够进出所述第一空间以及所述第二空间。

根据本应用例，能够使第一滑动部滑动，并且能够使第二滑动部滑动。

[应用例3]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选具有：开闭部，设置于所述流路并对所述流路进行开闭；以及判断部，基于所述流量传感器检测的流量判断所述开闭部的开闭。

根据本应用例，能够防止来自第二空间的工作流体的泄漏。

[应用例4]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述流量传感器配置于所述开闭部与所述第二部件的所述第二空间之间。

根据本应用例，由于比开闭部更前端被切断，能够防止误检测。

[应用例5]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选地，若所述流量传感器检测到所述工作流体的预定流量，则所述判断部输出报警。

根据本应用例，能够根据报警检测预定流量。

[应用例6]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第二基部能够与载置所述电子部件的电子部件载置部抵接。