[发明专利]电子部件输送装置以及电子部件检查装置

权利要求书

1.一种电子部件输送装置，其特征在于，将电子部件输送至检查所述电子部件的电气特性的检查部，所述电子部件输送装置具备：

输送部，将所述电子部件输送至所述检查部，所述输送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部、第一滑动部以及由所述第一基部和所述第一滑动部划定的第一空间，所述第一滑动部设置在所述第一基部内侧并相对于所述第一基部滑动，所述第一滑动部能够变更为中心轴呈倾斜状的姿态，所述第二部件具有安装于所述第一滑动部的第二基部、相对于所述第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部、以及由所述第二基部和所述第二滑动部划定的第二空间；

管道部，具有与所述第二空间连通且向所述第二空间供给工作流体的流路；

流量传感器，配置于所述流路，检测所述工作流体的流量；

调压部，调整所述工作流体的压力；以及

控制部，使所述第二滑动部保持所述电子部件，并能使所述第二滑动部将所述电子部件按压至所述检查部，

所述工作流体流入所述第一空间以及所述第二空间，

所述第一部件通过所述工作流体调整所述第二部件的姿态。

2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具备开闭部，所述开闭部设置于所述流路并对所述流路进行开闭，

所述控制部基于所述流量传感器检测到的流量判断所述开闭部的开闭。

3.根据权利要求2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述流量传感器配置于所述开闭部与所述第二空间之间的所述流路。

4.根据权利要求2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

若所述流量传感器检测到所述工作流体的预定流量，则所述控制部输出报警。

5.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具备载置所述电子部件的电子部件载置部，

所述第二基部与所述电子部件载置部抵接。

6.根据权利要求5所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第二滑动部按压所述电子部件的力与所述第二基部按压所述电子部件载置部的力不同。

7.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具备向所述第一空间和所述第二空间供给所述工作流体的工作流体供给部。

8.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具备缓和所述第二空间的压力变动的缓和部，所述缓和部配置于所述调压部与所述第二部件之间的所述流路，从所述第二空间向所述缓和部流入所述工作流体。

9.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第一滑动部具有接受来自所述工作流体的力的第一受压面，

所述第二滑动部具有接受来自所述工作流体的力的第二受压面，

所述第一受压面的面积大于所述第二受压面的面积。

10.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第二基部与所述电子部件抵接。

11.根据权利要求10所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第二滑动部按压所述电子部件的力与所述第二基部按压所述电子部件的力不同。

12.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

流入所述第一空间的所述工作流体的压力与流入所述第二空间的所述工作流体的压力不同。