[发明专利]真空腔室用旋转伸缩密封结构

说明书

本发明属于真空腔室密封技术领域，特别涉及一种真空腔室用旋转伸缩密封结构。包括旋转运动输出接头、外壳、旋转驱动机构、旋转伸缩轴，其中旋转伸缩轴插设于外壳内、且具有轴向移动和旋转的自由度，旋转伸缩轴的一端与旋转运动输出接头连接，另一端与旋转驱动机构连接，旋转伸缩轴和外壳之间设有密封空腔，外壳上设有与密封空腔连通的气孔。本发明在需要旋转伸缩运动时不需要保证密封性，在保证密封性时不需要进行运动，本发明适用于同时需要两种运动的工作情况下。

技术领域

本发明属于真空腔室密封技术领域，特别涉及一种真空腔室用旋转伸缩密封结构。

背景技术

现有真空腔室上外接的传动装置大体采用两种密封方式：旋转运动时，采用磁流体密封，伸缩运动时，采用波纹管密封。两种密封方式分别对应不同的传动类型，两种方式不能混用。因此，现有的真空腔室上外接的传动装置的密封装置功能单一，不能满足两种运动的工况。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种真空腔室用旋转伸缩密封结构，以满足两种运动的工作情况下的密封。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空腔室用旋转伸缩密封结构，包括旋转运动输出接头、外壳、旋转驱动机构、旋转伸缩轴，其中旋转伸缩轴插设于外壳内、且具有轴向移动和旋转的自由度，所述旋转伸缩轴的一端与旋转运动输出接头连接，另一端与旋转驱动机构连接，所述旋转伸缩轴和所述外壳之间设有密封空腔，所述外壳上设有与所述密封空腔连通的气孔。

所述密封空腔的两端设有套设于所述旋转伸缩轴上的上部弹簧张力密封圈和下部弹簧张力密封圈。

所述上部弹簧张力密封圈的外侧设有套设于所述旋转伸缩轴上的上方压紧盖板，所述上方压紧盖板与所述外壳连接，所述下部弹簧张力密封圈的外侧设有套设于所述旋转伸缩轴上的下方压紧套。

所述旋转伸缩轴和所述外壳之间设有位于所述下方压紧套下方的行程导套。

所述旋转驱动机构通过拉伸弹簧与所述外壳连接。

所述旋转驱动机构上设有用于对所述外壳滑动连接的导向轴。

所述旋转运动输出接头与真空腔室内的旋转体通过斜面连接。

所述旋转驱动机构为伺服电机，所述伺服电机的输出轴通过联轴器与所述旋转伸缩轴连接。

本发明的优点及有益效果是：本发明在需要旋转伸缩运动时不需要保证密封性，在保证密封性时不需要进行运动，本发明适用于同时需要两种运动的工作情况下。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的剖视图。

图中：1、旋转运动输出接头，2、外壳，3、导向轴，4、拉伸弹簧，5、联轴器，6、伺服电机，7、气孔，8、旋转伸缩轴，9、上部弹簧张力密封圈，10、下部弹簧张力密封圈，11、行程导套，12、下方压紧套，13、上方压紧盖板。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1-2所示，本发明提供的一种真空腔室用旋转伸缩密封结构，包括旋转运动输出接头1、外壳2、旋转驱动机构、旋转伸缩轴8，其中旋转伸缩轴8插设于外壳2内、且具有轴向移动和旋转的自由度，旋转伸缩轴8的一端与旋转运动输出接头1连接，另一端与旋转驱动机构连接，旋转伸缩轴8和外壳2之间设有密封空腔，外壳2上设有与密封空腔连通的气孔7，气孔7与外部高压氮气源相连。

旋转驱动机构为伺服电机6，伺服电机6的输出轴通过联轴器5与旋转伸缩轴8的下端连接。